Lampada per asciugatura ad acqua deionizzata

Mon, 08 Jun 2026 04:54:22 +0800

Su una linea da 300mm, una sola traccia d’acqua dopo la pulizia è sufficiente a compromettere un intero lotto. Abbiamo realizzato la Deionized Water Drying Lamp per eliminare questa modalità di guasto, garantendo un’evaporazione controllata senza residui di film né escursioni di particelle.

Aspetti tecnici rilevanti
La lampada integra emettitori a infrarossi a onde corte in un involucro sigillato e compatibile con le camere bianche. Riscalda direttamente la superficie del wafer, eliminando il ritardo tipico della convezione. L’uniformità della temperatura sul wafer si mantiene entro ±0,1°C, mentre la ripetibilità del setpoint si attesta a ±0,2°C su oltre 10.000 cicli di cottura.
Dalla partenza a freddo al profilo di cottura stabile passano meno di 30 secondi, con generazione di particelle nulla verificata rispetto ai valori di riferimento ISO Class 1–100. Il sistema è progettato per il funzionamento 24/7, con feedback termico predittivo che mantiene la deriva di uscita sotto il 5% su 5.000 ore.

Acqua on Eco-Friendly Infrared Heating

Lampada per asciugatura ad acqua deionizzata