Bulbo a infrarossi _con riflettore d oro

Fri, 19 Jun 2026 05:42:15 +0800

Nelle linee di produzione, le fluttuazioni termiche durante il trattamento del fotorest sono fenomeni che si percepiscono prima ancora di essere visibili. La struttura del film fotorestatico inizia a deteriorarsi, il controllo della dimensionalità del disco diventa difficile, e i parametri legati al processo di essiccazione non funzionano più correttamente. Quando ciò accade, anche la qualità del prodotto ne risente.

Ciò che è importante dal punto di vista tecnico
Abbiamo progettato questa lampada a infrarossi utilizzando una struttura a riflettore d’oro, in modo da concentrare il calore esattamente dove è necessario, evitando così che il calore inutile influisca sul processo. Il risultato è un’omogeneità della temperatura sulla superficie del wafer entro ±0,1°C, con una risposta rapida ai cambiamenti di impostazioni. Il filamento e l’involucro della lampada sono progettati per funzionare in ambienti sterili di classe 1–100: non si generano particelle, e la stabilità delle prestazioni persiste per oltre 5.000 ore. Questa stabilità garantisce che i parametri termici del fotorest rimangano costanti da un lotto all’altro, permettendo così alle tecniche di litografia ed etching di funzionare correttamente.

Bulbo on Eco-Friendly Infrared Heating

Bulbo a infrarossi _con riflettore d oro