Riscaldatore per strumento di ispezione dei semiconduttori

Sun, 07 Jun 2026 03:38:06 +0800

Sul pavimento dello stabilimento, una deriva di 0,1°C durante l’asciugatura del wafer o la cottura del fotoresist è sufficiente per far uscire una dimensione critica dalle specifiche. Quanto segue è noto: scarti e fermo linea. I riscaldatori degli strumenti di ispezione non sono accessori. Sono l’àncora termica che mantiene il processo affidabile, ciclo dopo ciclo.
Abbiamo progettato il riscaldatore per strumenti di ispezione semiconduttori in modo da mantenere l’uniformità termica a livello wafer entro ±0,1°C, garantendo che ogni soft bake, hard bake e polimerizzazione avvenga esattamente nella finestra prevista.

Ispezione on Eco-Friendly Infrared Heating

Riscaldatore per strumento di ispezione dei semiconduttori