Moduli di riscaldamento a infrarossi per fabbriche

Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800

Sul piano di litografia, basta un piccolo scostamento di mezzo grado durante il processo di essiccazione del fotorest per trasformare delle dimensioni dei bordi controllate in valori errati. Non si può ottenere una produzione stabile con parametri che cambiano continuamente. Per questo abbiamo creato moduli di riscaldamento a infrarossi in grado di mantenere il comportamento termico entro i limiti richiesti, shift dopo shift.

Ciò che è importante, dal punto di vista tecnico Utilizziamo emettitori a onde corte a filamenti ad alta risposta, così da ottenere un aumento rapido della temperatura e uno stato stazionario stabile. Sulla superficie della piattaforma di riscaldamento, l’uniformità a livello di wafer è di ±0,1°C, mentre la ripetibilità tra diversi lotti è di ±0,2°C. Il controllo avviene tramite sistemi di termometria a circuito chiuso e PID, con correzioni in tempi inferiori a un secondo; in questo modo la temperatura non cambia quando si apre la porta. I moduli vengono installati in ambienti puliti di classe 1–100, e l’assemblaggio in quarzo/ceramica è progettato per eliminare qualsiasi tipo di emissione di particelle: nessuna contaminazione, nessun deterioramento.

Moduli on Eco-Friendly Infrared Heating

Moduli di riscaldamento a infrarossi per fabbriche