Componenti del riscaldatore per resistenze a UV estremo (EUV)
Introduzione
La verità è questa: produciamo componenti per i riscaldatori utilizzati nella tecnologia EUV per un motivo semplice: far sì che le...
Parti di ricambio per la lavorazione dei wafer online
Nella fase di litografia, le celle di lavorazione non possono tollerare alcuna variazione termica. Un cambiamento di temperatura di 2°C durante il...