エネルギー on Eco-Friendly Infrared Heating

工場乾燥設備のエネルギー診断

Sat, 25 Jul 2026 04:34:41 +0800

ヒーターによって生産効率が低下するのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その悩みはご存知でしょう。わずかなほこりやガスの発生だけで、生産効率が急激に低下してしまいます。本当にイライラします。特に、ウェーハや半導体部品を乾燥させるために使う装置自体が、作業場内に微粒子を放出してしまう場合は問題です。

省エネ型半導体ヒーター

Fri, 24 Jul 2026 11:41:12 +0800

空気を加熱するのをやめよう：半導体の加熱におけるより賢い方法
従来の対流式オーブンについて正直に言えば、それは単なる巨大な箱に過ぎず、わずかなウエハーを適切な温度にするために、中のすべての空気分子を加熱しているのです。これは大変なエネルギーの無駄遣いです。

省エネ型ウェーハヒーター

Sat, 20 Jun 2026 05:28:55 +0800

製造現場において、ソフトベイクやハードベイクの際の温度の変動は、単に工程が止まるだけではありません。実際には、不良品が発生する原因となります。ソフトベイク時の温度が低すぎると、レジスト内に溶剤が残ってしまいます。一方、ハードベイク時の温度が高すぎると、レジストが流れてしまい、パターンがぼやけてしまいます。その結果、ワークが廃棄されたり、再作業が必要になったり、無駄なエネルギー消費が発生します。

技術的に重要な点 私たちは、全工程を通じてウェーハ全体の温度を±0.1°C以内に保つウェーハヒーターを開発しました。これにより、フォトレジストのベイキングが再現可能になり、重要な寸法のコントロールも安定します。高速応答機能により、厳密な温度制御が可能であり、かつクリーンルームのクラス1～100でも粒子を発生させない設計です。24時間365日稼働可能で、計画外の停止もありません。また、低エネルギーで動作するため、温度の安定性を損なうことなく消費電力を削減できます。