http://eco-ir-heat.com/ja/tags/%E3%83%99%E3%83%BC%E3%82%AD%E3%83%B3%E3%82%B0/ Recent content in ベーキング on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Fri, 26 Jun 2026 04:41:13 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/photoresist-baking-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:41:13 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="フォトレジスト焼成ランプ"></p> <p>ファブラインでは、フォトレジストの焼成処理は単なる工程の一つに過ぎません。実際には、重要な寸法制御を維持するための「熱的な支柱」として機能します。ソフトベイクやハードベイクの際に2℃の偏差が生じるだけで、全体的なリソグラフィーの精度が悪化してしまいます。そうなると、工程は規格を守るどころか、規格から外れてしまいます。</p>