http://eco-ir-heat.com/ja/tags/%E3%83%9E%E3%82%A6%E3%83%B3%E3%83%88/ Recent content in マウント on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Wed, 17 Jun 2026 15:29:02 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/infrared-lamp-mounting-clip/ Wed, 17 Jun 2026 15:29:02 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/infrared-lamp-mounting-clip/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="赤外線ランプ取り付けクリップ"></p> <p>ファブの現場では、ご存知の通り、フォトレジストの焼成時に0.5℃の温度変動があるだけで、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまい、リソグラフィーの要件を満たせなくなってしまいます。そのため、赤外線ランプを<a href="https://o-yate.net">固定</a>するクリップは、単なる支持部品ではありません。それは、ウェハ全体の温度を±0.1℃以内に保つためのインターフェースであり、そうすることで、ソフトベイクやハードベイクのプロセスが、先端プロセスの要件を満たすようになります。</p>