http://eco-ir-heat.com/ja/tags/%E5%87%A6%E7%90%86/ Recent content in 処理 on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 08:12:43 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/wafer-processing-spare-parts-online/ Thu, 02 Jul 2026 08:12:43 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/wafer-processing-spare-parts-online/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ウエハー加工用スペアパーツ オンライン販売"></p> <p>実際には、リソグラフィ装置ではドリフトを許容できません。ソフトベイク時の2℃程度の温度変動によってフォトレジストの厚さが変わり、ハードベイク時には残留応力がフィルム内に残ってしまいます。これは単なる理論上の話ではありません。実際には、廃棄されるウェーハや仕様を満たせない製品、計画外の停止時間が<a href="https://henruite.com">発生</a>します。私たちは、このような現実に対応するために、プレート全体で±0.1℃以内の熱的均一性を維持できる加熱要素を<a href="https://o-yate.net">使用</a>しています。そうすれば、どのような条件でもプロセス範囲内で処理が行えます。</p>