http://eco-ir-heat.com/ja/tags/%E6%9A%96%E6%88%BF/ Recent content in 暖房 on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Fri, 24 Jul 2026 11:41:12 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/reducing-carbon-footprints-in-semiconductor-manufacturing-via-shortwave-infrared-heating-systems/ Fri, 24 Jul 2026 11:41:12 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/reducing-carbon-footprints-in-semiconductor-manufacturing-via-shortwave-infrared-heating-systems/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="省エネ型半導体ヒーター"></p> <p>空気を加熱するのをやめよう：半導体の加熱におけるより賢い方法<br> 従来の対流式オーブンについて正直に言えば、それは単なる巨大な箱に過ぎず、わずかなウエハーを適切な温度にするために、中のすべての空気分子を加熱しているのです。これは大変なエネルギーの無駄遣いです。</p> http://eco-ir-heat.com/ja/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Wed, 22 Jul 2026 04:26:06 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ウェーハ加熱時の安全距離"></p> <h2 id="なぜウェーハの硬化処理にirを採用するのか">なぜウェーハの硬化処理にIRを採用するのか</h2> <p>これまでのやり方について話しましょう。長年にわたり、私たちは大きな対流式オーブンや強力な化学薬品を使ってウェーハを乾燥させてきました。確かにそれでうまくいきましたが、非効率的でした。 今では、「グリーン」や「<a href="https://henruite.com">無鉛</a>」というのは、単なる規制を満たすためのものではありません。有害な揮発性有機化合物（VOC）を排除し、クリーンルーム内の二酸化炭素排出量を減らすことが重要です。これは当然のことです。</p> http://eco-ir-heat.com/ja/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ファブ用赤外線加熱モジュール"></p> <p>リソグラフィーの工程では、フォトレジストを加熱する際にわずか0.5度でも温度がズレるだけで、制御されていた線幅が不安定になってしまいます。そうした状況では、一定の設定値を維持することは不可能です。そのため、私たちは赤外線加熱モジュールを開発しました。これにより、工程中の温度が一定範囲内に保たれ、シフトごとに安定した状態が維持されます。</p>