http://eco-ir-heat.com/ja/tags/%E7%94%A3%E6%A5%AD/ Recent content in 産業 on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Mon, 22 Jun 2026 23:16:07 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/industrial-wafer-heater-factory/ Mon, 22 Jun 2026 23:16:07 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/industrial-wafer-heater-factory/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="工業用ウェーハヒーター工場"></p> <p>ファブの現場では、温度の変動は単なる監視対象のパラメータに過ぎません。実際には、それが歩留まり低下の直接的な原因となります。フォトレジストのソフトベイク時に0.5℃の温度変動があれば、重要な寸法精度が乱れてしまいます。また、フィルム中に溶剤が残っていると、エッジ部分にしずく状のものができ、結果としてスクラップになってしまいます。</p>