http://eco-ir-heat.com/ja/tags/%E9%83%A8%E5%B1%8B%E5%AE%A4/ Recent content in 部屋、室 on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Wed, 03 Jun 2026 10:08:52 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Wed, 03 Jun 2026 10:08:52 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="真空チャンバー赤外線ヒーター"></p> <p>300mmラインでは、ソフトベイクは任意ではなく、熱予算そのものである。ウェハ全体で2℃の変動があると、CDがナノメートル単位で変化し、真空チャンバーはそのドリフトを悪化させるだけだ。私たちはその変動を排除するために真空チャンバー用のIRヒーターを開発し、リソグラフィーや薄膜処理で求められる温度の再現性を確保している。</p>