http://eco-ir-heat.com/ja/tags/tool/ Recent content in Tool on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ja Sun, 19 Jul 2026 15:21:16 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sun, 19 Jul 2026 15:21:16 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="ウェーハ処理装置用温度センサー"></p> <p>ウェーハをきれいに保つために：ランプの破損に関する真実<br> 大量のウェーハを生産している場合、その恐ろしい状況はよくご存知でしょう。ランプが破損してしまうのです。<br> 問題は単に停止時間だけではありません。実際には、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。一度破損すれば、全てのウェーハが廃棄処分になってしまいます。これは本当に大惨事です。<br> 私たちは、このような事態を防ぐ方法を何度も検討してきました。主に、ランプの構造を見直すことによってです。</p> http://eco-ir-heat.com/ja/posts/semiconductor-inspection-tool-heater/ Sun, 07 Jun 2026 03:38:06 +0800 http://eco-ir-heat.com/ja/posts/semiconductor-inspection-tool-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="半導体検査ツールヒーター"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>ファブフロアでは、ウェーハ乾燥やフォトレジストベーク中の0.1℃のドリフトが、クリティカルディメンションを規格外にしてしまうのに十分です。結果はご存知の通り—スクラップが<a href="https://o-yate.com">発生</a>し、ラインは停止します。検査ツールのヒーターは追加装置ではなく、プロセスを確実に維持するための熱的アンカーであり、連続運転で安定性を保ちます。 私たちは半導体検査ツールのヒーターを、ウェーハレベルの熱均一性を±0.1℃以内に維持できるよう設計しました。これにより、ソフトベーク、ハードベーク、キュアのいずれも所定の条件で確実に実行されます。</p>