건조 on Eco-Friendly Infrared Heating

공장 건조 공정을 위한 에너지 감사

Sat, 25 Jul 2026 04:34:41 +0800

난방 장치로 인해 생산 효율이 떨어지는 것을 막으세요.
클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 한 점이나 가스 방출만으로도 생산 효율이 급격히 떨어집니다. 정말 짜증나는 일입니다. 특히 웨이퍼나 반도체 부품을 건조시키는 데 사용되는 도구들 자체가 작업 공간에 먼지를 유발한다면 더욱 그렇습니다.

MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

Fri, 24 Jul 2026 11:25:49 +0800

기존의 방식을 버리고: 적외선을 이용한 MEMS 웨이퍼 건조
MEMS 센서를 제작할 때, 웨이퍼에 남아 있는 수분을 제거하는 것은 꽤 까다로운 과제입니다. 물을 빠르게 제거해야 하지만, 열을 잘못 조절하면 재료에 스트레스가 가해져 전체 제품의 품질이 저하될 수 있습니다.
그래서 우리는 단파 적외선 램프를 사용합니다. 일반적인 대류식 오븐의 경우, 웨이퍼 하나를 건조시키기 위해 공기, 벽, 심지어 방 전체까지 모두 가열해야 합니다. 이는 에너지 낭비입니다. 반면 적외선 램프는 웨이퍼 표면에 직접 열을 가하기 때문에 중간 매개체가 필요 없습니다.
물리적 원리는 사실 아주 간단합니다. 이 램프들은 전기 에너지를 복사열로 변환합니다. 우리는 소형 공간 안에 많은 에너지를 집중시키도록 설계했기 때문에, 몇 초 만에 웨이퍼 표면의 물기가 증발합니다. 웨이퍼 주변의 공기를 가열할 필요가 없으므로 에너지 낭비도 줄어듭니다. 이것이 바로 ‘친환경적’인 점입니다. 에너지 낭비가 줄어들면 탄소 배출량도 줄어듭니다. 그렇게 간단합니다.
이제, 램프 자체에 대해 말씀드리자면…
우리는 고순도 석영 내부에 텅스텐 필라멘트를 넣어 이 램프들을 만듭니다. 더 효과적으로 작동하도록 석영 표면에 특수 코팅을 처리합니다. 이 코팅이 바로 비결입니다. 이 코팅 덕분에 에너지가 물방울에 집중되고, 실리콘 기판 속으로 침투하지 않습니다.
하지만 한 가지 주의할 점이 있습니다. 전력 공급 상태를 잘 확인해야 합니다. 이 램프들은 강력한 성능을 가지고 있기 때문에 전력 공급에 부담을 줄 수 있습니다. 스위치를 켰을 때 발생하는 급격한 전류로 인해 퓨즈가 자주 파손될 수 있습니다.
공장에서의 활용 방법…
여전히 구식 가스 오븐이나 대형 오븐을 사용하고 있다면, 적외선 램프로 교체하는 것이 가장 좋은 방법입니다. 이렇게 하면 웨이퍼당 필요한 에너지량이 줄어듭니다.
우리는 이 램프들을 그대로 교체할 수 있도록 설계했습니다. 따라서 업그레이드를 위해 공장 전체를 며칠 동안 멈추게 할 필요가 없습니다. 웨이퍼 처리 속도가 빨라지고, 배출량도 줄어듭니다.
단, 한 가지 주의해야 할 점이 있습니다. 램프의 강도를 높일수록 램프 본체를 냉각시키는 데 더 많은 노력이 필요합니다. 그렇지 않으면 커넥터가 녹아버릴 수 있으며, 이는 아무도 원하지 않는 문제입니다.

도매용 웨이퍼 건조 램프

Tue, 07 Jul 2026 06:16:28 +0800

우리가 만든 이 웨이퍼 건조용 램프는, 미국과 일본의 유명 브랜드들과 어깨를 나란히 할 수 있도록 설계되었습니다. 목표는 간단했습니다. 고가의 제품에 버금가는 열 성능과 신뢰성을 제공하는 것입니다. 그러면서도 비싼 가격은 피할 수 있습니다. 즉, 품질과 일관성을 저해하지 않으면서도 생산 라인을 계속 가동시킬 수 있는 대체제를 제공하는 것입니다.

탈이온수 건조 램프

Mon, 08 Jun 2026 04:54:22 +0800

300mm 라인에서 클리닝 후 한 번의 워터 마크만으로도 전체 로트를 폐기하게 된다. 이를 해결하기 위해 Deionized Water Drying Lamp를 제작했으며, 필름 잔류물과 입자 편차 없이 제어된 증발 공정을 제공한다.
기술적으로 중요한 점
램프는 단파 적외선 방출기를 밀폐된 클린룸 호환 하우징에 집적했다. 웨이퍼 표면을 직접 가열하여 대류에 따른 지연 시간을 회피한다. 웨이퍼 전체에서 온도 균일도는 ±0.1℃ 이내로 유지되며, 세트포인트 반복성은 10,000회 이상의 베이크 사이클에서 ±0.2℃ 내에 있다.
콜드 스타트에서 안정적인 베이크 프로파일 도달까지 30초 미만이 소요되며, ISO Class 1–100 기준 대비 입자 발생은 전혀 없는 것으로 검증되었다. 시스템은 24시간 7일 가동에 맞게 설계되었으며, 예측형 열 피드백을 통해 5,000시간 동안 출력 변동률을 5% 이하로 유지한다.
실제 공정 단계에서 작동 원리
포스트 클린 건조 및 포토레지스트 베이크 단계에서 램프는 과열을 방지해 열 예산을 보호한다. 과열은 TTOP 박막화 또는 풋 프로파일 변화를 유발할 수 있다. 이를 통해 소프트 베이크와 하드 베이크 모두에서 CD 제어가 정밀해지고 재작업 횟수가 감소하며, 풀 챔버 베이크 플레이트를 사용하는 경우 대비 에너지 소비도 절감된다.
더 넓은 공정 윈도우 내에서 처리량이 증가하고 잔여 워터 마크로 인한 로트 폐기 발생이 줄어든다.
계획 시 유의 사항
램프는 클린룸 등급의 마운팅과 열 안정성을 유지할 수 있는 전용 필터링 전원 공급이 필요하다. 150/200/300mm 웨이퍼에 최적화되어 있다.
대부분의 트랙 플랫폼에 적용 가능한 레트로핏 키트가 제공되나, 레거시 오븐과 연동할 경우 조사 영역 정렬을 위한 맞춤형 고정구가 필요할 수 있다. 베이크 프로파일을 확정하고 입자 성능을 기준 대비 검증하기 위한 짧은 자격 테스트 실행을 권장한다.