탈이온수 건조 램프

Mon, 08 Jun 2026 04:54:22 +0800

300mm 라인에서 클리닝 후 한 번의 워터 마크만으로도 전체 로트를 폐기하게 된다. 이를 해결하기 위해 Deionized Water Drying Lamp를 제작했으며, 필름 잔류물과 입자 편차 없이 제어된 증발 공정을 제공한다.
기술적으로 중요한 점
램프는 단파 적외선 방출기를 밀폐된 클린룸 호환 하우징에 집적했다. 웨이퍼 표면을 직접 가열하여 대류에 따른 지연 시간을 회피한다. 웨이퍼 전체에서 온도 균일도는 ±0.1℃ 이내로 유지되며, 세트포인트 반복성은 10,000회 이상의 베이크 사이클에서 ±0.2℃ 내에 있다.
콜드 스타트에서 안정적인 베이크 프로파일 도달까지 30초 미만이 소요되며, ISO Class 1–100 기준 대비 입자 발생은 전혀 없는 것으로 검증되었다. 시스템은 24시간 7일 가동에 맞게 설계되었으며, 예측형 열 피드백을 통해 5,000시간 동안 출력 변동률을 5% 이하로 유지한다.
실제 공정 단계에서 작동 원리
포스트 클린 건조 및 포토레지스트 베이크 단계에서 램프는 과열을 방지해 열 예산을 보호한다. 과열은 TTOP 박막화 또는 풋 프로파일 변화를 유발할 수 있다. 이를 통해 소프트 베이크와 하드 베이크 모두에서 CD 제어가 정밀해지고 재작업 횟수가 감소하며, 풀 챔버 베이크 플레이트를 사용하는 경우 대비 에너지 소비도 절감된다.
더 넓은 공정 윈도우 내에서 처리량이 증가하고 잔여 워터 마크로 인한 로트 폐기 발생이 줄어든다.
계획 시 유의 사항
램프는 클린룸 등급의 마운팅과 열 안정성을 유지할 수 있는 전용 필터링 전원 공급이 필요하다. 150/200/300mm 웨이퍼에 최적화되어 있다.
대부분의 트랙 플랫폼에 적용 가능한 레트로핏 키트가 제공되나, 레거시 오븐과 연동할 경우 조사 영역 정렬을 위한 맞춤형 고정구가 필요할 수 있다. 베이크 프로파일을 확정하고 입자 성능을 기준 대비 검증하기 위한 짧은 자격 테스트 실행을 권장한다.

물 on Eco-Friendly Infrared Heating

탈이온수 건조 램프