http://eco-ir-heat.com/ko/tags/%EB%B6%80%ED%92%88%EB%93%A4/ Recent content in 부품들 on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ko Mon, 06 Jul 2026 07:46:06 +0800 http://eco-ir-heat.com/ko/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Mon, 06 Jul 2026 07:46:06 +0800 http://eco-ir-heat.com/ko/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="극자외선(EUV) 리지스트 가열기 부품들"></p> <p><strong>서론</strong><br> 사실을 말하자면, 우리가 EUV 리지스트 가열 장치를 만드는 이유는 단 하나입니다. 바로 고객의 리소그래피 장비가 계속해서 정상적으로 작동할 수 있도록 하는 것입니다. 멈추는 일은 없어야 합니다. 문제도 발생해서는 안 됩니다.<br> 요구되는 사양은 매우 까다롭고, 허용 오차도 아주 적습니다. 게다가 작동 환경도 매우 혹독합니다. 그래서 우리는 24개월간의 완벽한 품질 보증을 제공합니다. 만약 문제가 생긴다 해도, 24시간 내에 기술 지원을 제공해 드립니다. 왜냐하면 생산라인이 멈추면 매분마다 큰 손실이 발생하기 때문입니다.</p> http://eco-ir-heat.com/ko/posts/wafer-processing-spare-parts-online/ Thu, 02 Jul 2026 08:12:43 +0800 http://eco-ir-heat.com/ko/posts/wafer-processing-spare-parts-online/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="와이퍼 가공용 예비 부품 온라인 판매"></p> <p>생산 라인에서는 리소그래피 장비가 드리프트 현상을 견딜 수 없습니다. 소프트 베이크 과정에서 2°C만의 온도 변화라도 포토레지스트의 두께에 영향을 주며, 하드 베이크 과정에서는 잔존 스트레스가 필름에 그대로 남게 됩니다. 이는 단순한 이론이 아니라, 폐기된 웨이퍼나 목표 사양을 충족하지 못하는 제품, 예상치 못한 가동 중단으로 이어집니다. 저희는 바로 이러한 상황을 대비하여 웨이퍼 처리용 부품들을 설계했습니다. 즉, 플래튼 전체에 걸쳐 ±0.1°C 이내의 일정한 온도를 유지할 수 있는 가열 요소들을 사용하여, 모든 베이크 과정이 정해진 범위 내에서 이루어지도록 합니다.</p>