http://eco-ir-heat.com/ko/tags/%EC%9B%A8%EC%9D%B4%ED%8D%BC/ Recent content in 웨이퍼 on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ko Fri, 24 Jul 2026 11:25:49 +0800 http://eco-ir-heat.com/ko/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-shortwave-infrared-heating/ Fri, 24 Jul 2026 11:25:49 +0800 http://eco-ir-heat.com/ko/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-shortwave-infrared-heating/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>기존의 방식을 버리고: 적외선을 이용한 MEMS 웨이퍼 건조<br> MEMS 센서를 제작할 때, 웨이퍼에 남아 있는 수분을 제거하는 것은 꽤 까다로운 과제입니다. 물을 빠르게 제거해야 하지만, 열을 잘못 조절하면 재료에 스트레스가 가해져 전체 제품의 품질이 저하될 수 있습니다.<br> 그래서 우리는 단파 적외선 램프를 사용합니다. 일반적인 대류식 오븐의 경우, 웨이퍼 하나를 건조시키기 위해 공기, 벽, 심지어 방 전체까지 모두 가열해야 합니다. 이는 에너지 낭비입니다. 반면 적외선 램프는 웨이퍼 표면에 직접 열을 가하기 때문에 중간 매개체가 필요 없습니다.<br> <strong>물리적 원리는 사실 아주 간단합니다.</strong> 이 램프들은 전기 에너지를 복사열로 변환합니다. 우리는 소형 공간 안에 많은 에너지를 집중시키도록 설계했기 때문에, 몇 초 만에 웨이퍼 표면의 물기가 증발합니다. 웨이퍼 주변의 공기를 가열할 필요가 없으므로 에너지 낭비도 줄어듭니다. 이것이 바로 ‘친환경적’인 점입니다. 에너지 낭비가 줄어들면 탄소 배출량도 줄어듭니다. 그렇게 간단합니다.<br> <strong>이제, 램프 자체에 대해 말씀드리자면…</strong><br> 우리는 고순도 석영 내부에 텅스텐 필라멘트를 넣어 이 램프들을 만듭니다. 더 효과적으로 작동하도록 석영 표면에 특수 코팅을 처리합니다. 이 코팅이 바로 비결입니다. 이 코팅 덕분에 에너지가 물방울에 집중되고, 실리콘 기판 속으로 침투하지 않습니다.<br> 하지만 한 가지 주의할 점이 있습니다. 전력 공급 상태를 잘 확인해야 합니다. 이 램프들은 강력한 성능을 가지고 있기 때문에 전력 공급에 부담을 줄 수 있습니다. 스위치를 켰을 때 발생하는 급격한 전류로 인해 퓨즈가 자주 파손될 수 있습니다.<br> <strong>공장에서의 활용 방법…</strong><br> 여전히 구식 가스 오븐이나 대형 오븐을 사용하고 있다면, 적외선 램프로 교체하는 것이 가장 좋은 방법입니다. 이렇게 하면 웨이퍼당 필요한 에너지량이 줄어듭니다.<br> 우리는 이 램프들을 그대로 교체할 수 있도록 설계했습니다. 따라서 업그레이드를 위해 공장 전체를 며칠 동안 멈추게 할 필요가 없습니다. 웨이퍼 처리 속도가 빨라지고, 배출량도 줄어듭니다.<br> 단, 한 가지 주의해야 할 점이 있습니다. 램프의 강도를 높일수록 램프 본체를 냉각시키는 데 더 많은 노력이 필요합니다. 그렇지 않으면 커넥터가 녹아버릴 수 있으며, 이는 아무도 원하지 않는 문제입니다.</p> http://eco-ir-heat.com/ko/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Wed, 22 Jul 2026 04:26:06 +0800 http://eco-ir-heat.com/ko/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="웨이퍼 가열을 위한 안전 거리"></p> <p><strong>왜 웨이퍼의 건조 과정에 IR 기술을 도입하는가?</strong><br> 과거의 방식에 대해 이야기해보겠습니다. 오랫동안 우리는 거대한 대류 오븐과 강력한 화학물질들을 사용하여 웨이퍼를 건조시켜 왔습니다. 물론 이 방법도 효과는 있었지만, 매우 비효율적이었습니다.<br> 요즘에는 ‘친환경적’이거나 ‘납이 없는’ 방식을 사용하는 것이 단순히 규제를 준수하기 위한 것이 아닙니다. 그것은 유해한 휘발성 유기화합물(VOCs)을 제거하고, 클린룸 내의 탄소 배출량을 줄이는 것을 의미합니다. 이는 당연한 일입니다.</p> http://eco-ir-heat.com/ko/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ Mon, 20 Jul 2026 11:17:18 +0800 http://eco-ir-heat.com/ko/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="웨이퍼 경화 램프용 반사판"></p> <p>와이어 본드 경화용 램프가 고장나지 않도록 하는 방법<br> 와이어 본드를 경화시킬 때는 완벽한 온도를 유지하는 것이 중요합니다. 이를 위해 고강도의 램프와 반사판을 사용합니다. 하지만 문제는, 그렇게 많은 고전압 전력을 작은 공간에 집중시키면 전기 누설이 발생할 수 있다는 점입니다. 제대로 관리하지 않으면 큰 문제가 생길 수 있습니다.</p> http://eco-ir-heat.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sun, 19 Jul 2026 15:21:18 +0800 http://eco-ir-heat.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="웨이퍼 가공 공구용 온도 센서"></p> <p>와이어를 깨끗하게 유지하는 방법: 램프가 파손될 때의 문제점들<br> 고부하로 와이어를 생산할 경우, 그 끔찍한 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 바로 램프가 파손되는 것이죠.<br> 단순히 생산이 중단된다는 문제뿐만 아니라, 파편들이 와이어 위로 떨어져서 큰 피해를 줍니다. 한 번만 파손되어도 전체 제품이 폐기되는 것입니다. 정말 치명적인 상황입니다.<br> 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 많은 시간을 들여왔으며, 그 방법은 바로 램프의 구조를 다시 설계하는 것입니다.</p> http://eco-ir-heat.com/ko/posts/wafer-processing-spare-parts-online/ Thu, 02 Jul 2026 08:12:43 +0800 http://eco-ir-heat.com/ko/posts/wafer-processing-spare-parts-online/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="와이퍼 가공용 예비 부품 온라인 판매"></p> <p>생산 라인에서는 리소그래피 장비가 드리프트 현상을 견딜 수 없습니다. 소프트 베이크 과정에서 2°C만의 온도 변화라도 포토레지스트의 두께에 영향을 주며, 하드 베이크 과정에서는 잔존 스트레스가 필름에 그대로 남게 됩니다. 이는 단순한 이론이 아니라, 폐기된 웨이퍼나 목표 사양을 충족하지 못하는 제품, 예상치 못한 가동 중단으로 이어집니다. 저희는 바로 이러한 상황을 대비하여 웨이퍼 처리용 부품들을 설계했습니다. 즉, 플래튼 전체에 걸쳐 ±0.1°C 이내의 일정한 온도를 유지할 수 있는 가열 요소들을 사용하여, 모든 베이크 과정이 정해진 범위 내에서 이루어지도록 합니다.</p>