진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터
왜 우리는 진공 상태에서 작동하는 적외선 히터를 꼭 테스트해야 하는가?
진공 환경의 특성은 기존의 규칙들을 바꿔버립니다. 챔버 내부의 공기를 빼내면, 전기는 더 이상 우리가 익히 알고 있는 방식대로 작동하지 않습니다. 일반적인 방에서는 공기가 자연스러운 절연체 역할을...
진공 챔버 적외선 히터
300mm 라인에서는 소프트 베이크가 선택 사항이 아니라, 명확한 열 예산입니다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 2°C의 온도 변동만으로도 CD가 나노미터 단위로 이동할 수 있으며, 진공 챔버는 이러한 편차를 더욱 악화시킵니다. 당사는 진공 챔버 IR 히터를 설계하여 이 변동성...