http://eco-ir-heat.com/ko/tags/%ED%8F%AC%ED%86%A0%EB%A0%88%EC%A7%80%EC%8A%A4%ED%8A%B8/ Recent content in 포토레지스트 on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ko Fri, 26 Jun 2026 04:41:13 +0800 http://eco-ir-heat.com/ko/posts/photoresist-baking-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:41:13 +0800 http://eco-ir-heat.com/ko/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="포토레지스트 소성 램프"></p> <p>팹 내에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 단계가 아닙니다. 이는 핵심적인 치수 제어를 유지하는 데 있어 매우 중요한 역할을 합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 2°C만큼의 오차가 생기더라도, 전체 리소그래피 공정에 큰 영향을 미칩니다. 그 결과, 공정은 목표치를 준수하기보다는 그 목표치를 추구하게 됩니다.</p>