Pada saluran 300mm, satu kesan air selepas pembersihan sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan lot. Kami membangunkan Deionized Water Drying Lamp untuk menghapuskan mod kegagalan itu, memberikan anda pengewapan terkawal tanpa sisa filem dan tanpa lonjakan partikel.
Apa yang penting secara teknikal
Lampu ini menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek dalam rumah kedap yang sesuai untuk bilik bersih. Ia memanaskan permukaan wafer secara langsung, jadi anda mengelakkan kelewatan yang berlaku melalui konveksi. Keseragaman suhu merentasi wafer dikekalkan pada ±0.1°C, dan kebolehulangan titik tetapan adalah ±0.2°C dalam lebih 10,000 kitaran pembakaran.
Permulaan sejuk ke profil pembakaran stabil berlaku dalam masa kurang daripada 30 saat, dan operasi dijalankan dengan penghasilan partikel sifar yang disahkan mengikut piawai ISO Class 1–100. Sistem ini dibina untuk tugas 24/7, dengan maklum balas terma ramalan yang mengekalkan pergeseran output di bawah 5% dalam tempoh 5,000 jam.
Mengapa ia berfungsi dalam langkah proses sebenar
Dalam pengeringan selepas pembersihan dan dalam langkah pembakaran photoresist, lampu ini melindungi bajet terma anda dengan mengelakkan lebihan suhu—lebihan yang boleh menyebabkan penipisan TTOP atau pergeseran profil kaki. Anda mendapatkan kawalan CD yang lebih ketat dan pengurangan kerja semula pada pembakaran lembut dan keras, sambil mengurangkan penggunaan tenaga berbanding menggunakan plat pembakaran bilik penuh.
Anda memperoleh keupayaan hasil yang lebih tinggi dengan tingkap proses yang lebih luas, serta menamatkan pembaziran lot akibat kesan air sisa.
Apa yang perlu dirancang
Lampu ini memerlukan pemasangan bersesuaian untuk bilik bersih serta bekalan kuasa yang ditapis dan didedikasi untuk mengekalkan kestabilan terma seperti yang diperlukan. Ia dioptimumkan untuk wafer 150/200/300mm.
Kit retrofitting meliputi kebanyakan platform trek, tetapi jika anda menggunakan ketuhar warisan, anda mungkin memerlukan pemasangan khas untuk melaras bidang penyinaran. Rancang satu larian kelayakan ringkas untuk mengunci profil pembakaran anda dan mengesahkan prestasi partikel terhadap pangkalan anda.