Di bilik pengeluaran, proses kerja yang berlangsung 24/7 memerlukan kawalan suhu yang tepat. Suhu pembakaran yang sesuai ialah 95°C untuk proses pembakaran lembut, dan 110°C untuk proses pembakaran keras. Suhu-suhu ini menentukan kawalan ketebalan garisan pada permukaan wafer serta mengurangkan risiko kecacatan. Jika variasi suhu melebihi ±0.5°C, ia akan menyebabkan masalah seperti hilangnya ciri-ciri tertentu pada wafer tersebut.
Kami telah merancang komponen pemanas tanpa halogen ini agar sesuai dengan keperluan peralatan semikonduktor. Ia boleh digunakan dalam proses fotolitografi dan alat pembungkusan yang canggih, dan sudah pun diuji sepenuhnya.
Apa yang penting dari segi teknikal: Pemanas tanpa halogen ini direka khusus untuk operasi dalam gelombang inframerah. Ia dapat mengekalkan keseragaman suhu pada permukaan wafer pada tahap ±0.1°C, walaupun wafer tersebut berukuran 150 mm atau 200 mm. Ketepatan pengaturan suhu pula ialah ±0.05°C.
Reka bentuknya juga sesuai untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100. Tidak ada zarah yang berukuran lebih besar daripada 0.1 μm yang terhasil setelah sistem beroperasi secara stabil. Penggunaan bahan penebat berbahan serat karbon membantu mengurangkan penggunaan tenaga sebanyak 25%. Kelajuan pemanasan pula boleh mencapai 10°C/s tanpa menyebabkan masalah.
Tingkap kaca kuarsa dan sambungan standard yang digunakan mematuhi spesifikasi SEMI.
Mengapa ia berguna di bilik pengeluaran: Dalam proses fotolitografi, kawalan suhu yang baik dapat memastikan pengedaran ciri-ciri pada permukaan wafer menjadi lebih baik, sekali gus mengurangkan jumlah bahan yang perlu dibuang semula. Dalam proses pembungkusan pula, kawalan suhu yang tepat dapat membantu mengurangkan risiko kecacatan pada wafer. Kebolehpercayaan sistem ini pula sangat tinggi, iaitu melebihi 10,000 jam, tanpa adanya gangguan operasi selama beberapa bulan. Ini membolehkan proses pengeluaran berjalan lebih cepat, dengan kos operasi yang lebih rendah, tanpa perlu mengubah formula proses sedia ada.
Apa yang perlu dirancang: Pemasangan sistem ini memerlukan sumber kuasa 24 VDC yang khusus, serta saluran pengudaraan yang sesuai untuk bilik bersih. Proses penyesuaian sistem ini biasanya memerlukan masa sekitar 24 jam. Sistem ini mematuhi spesifikasi SEMI. Namun, jika sistem ini digabungkan dengan kawalan lama, mungkin diperlukan pembaruan pada skema kawalan tersebut. Kami menyediakan spesifikasi antaramuka dan bantuan pemasangan di tapak, supaya proses peralihan berjalan lancar tanpa gangguan.