Menghentikan masalah yang disebabkan oleh kerosakan tiub inframerah dalam proses pengeluaran wafer
Sejujurnya, dalam sistem pengeluaran semikonduktor yang beroperasi pada beban yang tinggi, kerosakan tiub inframerah bukan sekadar “masalah teknikal” biasa. Ia merupakan bencana sebenar.
Apabila tiub kuarsa rosak, bukan sahaja proses pengeluaran terhenti, tetapi serpihan kaca dan gas halogen juga akan jatuh ke atas wafer tersebut. Satu letupan saja sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan batch wafer tersebut. Ini merupakan cara yang sangat menyakitkan hati untuk kehilangan hasil kerja selama sehari.
Itulah sebabnya kita menggunakan kotak pemanas yang diperbuat daripada keluli tahan karat. Kita ingin memastikan bahawa serpihan-serpihan tersebut tidak sampai ke kawasan pengeluaran wafer.
Lindungan keselamatan
Anggaplah kotak pemanas ini sebagai “lapis pelindung”. Kita menggunakan keluli tahan karat berkualiti tinggi untuk membentuk dinding fizikal yang menghalang serpihan-serpihan tersebut daripada sampai ke wafer. Jika tiub tersebut rosak akibat tekanan haba, kotak pemanas ini akan menahan serpihan-serpihan tersebut. Serpihan-serpihan tersebut tidak akan masuk ke kawasan pengeluaran wafer, dan wafer akan tetap bersih.
Menguruskan haba
Kita memilih keluli tahan karat kerana ia mampu menahan haba dengan baik. Namun, ia tidak dapat menyalurkan haba dengan cepat seperti aluminium. Ini merupakan pilihan yang sengaja dibuat agar kotak pemanas ini tidak bengkok apabila berhadapan dengan beban haba yang tinggi. Kita telah meluangkan banyak masa untuk menyesuaikan ketebalan dinding kotak pemanas ini agar ia cukup kuat untuk menahan beban tersebut, namun tidak menghalang penyebaran cahaya inframerah.
Satu perkara yang perlu diingat: haba yang terkumpul memang wujud. Oleh itu, pastikan sistem penyejukan anda berfungsi dengan baik. Jika aliran udara terlalu lemah, komponen-komponen tersebut boleh menjadi terlalu panas.
Memudahkan proses penyelenggaraan
Tiada siapa yang mahu merosakkan keseluruhan mesin hanya untuk membaiki satu tiub sahaja. Oleh itu, kita menjadikan kotak pemanas ini mudah diganti. Anda hanya perlu menarik keluar kotak pemanas tersebut, memasukkan tiub baru, dan memasukkannya semula. Prosesnya sangat cepat. Dengan cara ini, ruang yang diperlukan untuk penyelenggaraan juga dapat dikurangkan.
Pada akhirnya, apa yang lebih penting ialah memastikan serpihan-serpihan tersebut tidak sampai ke wafer. Memang ada kompromi yang perlu dilakukan, tetapi ia dapat membantu anda mengelakkan kerugian yang besar akibat pembaziran silikon.