Mengapa Kita Menggunakan Lampu Inframerah Tahan Air dalam Proses Pembuatan Semikonduktor
Mari kita bincangkan proses pencucian dan pengeringan dalam proses pembuatan semikonduktor. Jika anda pernah bekerja di kilang pembuatan semikonduktor, anda pasti tahu bahawa proses ini sering menjadi penyebab kelewatan dalam proses pengeluaran. Ia merupakan satu halangan yang perlu diatasi.
Untuk mengatasi masalah ini, kita menggunakan lampu inframerah yang tahan air. Lampu ini merupakan alat terbaik untuk mengeringkan wafer daripada keadaan basah sepenuhnya kepada keadaan kering tanpa merosakkan permukaan wafer atau meninggalkan bahan kotoran pada permukaannya.
Masalah dengan ketuhar konvensional
Pada zaman dahulu, orang menggunakan ketuhar konvensional untuk mengeringkan wafer. Namun, bayangkanlah: kita perlu memanaskan sejumlah besar udara hanya untuk mengeringkan wafer yang bersaiz kecil. Ini merupakan pembaziran tenaga.
Lampu inframerah pula berbeza. Ia menggunakan radiasi elektromagnetik untuk menghilangkan kelembapan pada permukaan wafer secara langsung. Dengan cara ini, tiada keperluan untuk menggunakan bahan kimia atau bahan tambahan berbasis plumbum. Ia merupakan cara yang lebih efisien.
Menghadapi masalah kelembapan
Masalahnya ialah lampu ini terletak tepat selepas stesen pencucian. Ini bermakna lampu tersebut sentiasa terdedah kepada kelembapan dan wap kimia. Keadaan ini sangat mencabar.
Jika tiub kuarsa biasa terkena air ketika ia masih panas, ia akan retak dengan segera. Untuk mengelakkan ini, kita menggunakan pelindung kuarsa khusus serta penutup yang kedap. Ini dapat melindungi filamen lampu daripada kelembapan, sehingga lampu tidak akan rosak.
Kita juga menggunakan lampu inframerah gelombang pendek. Mengapa? Kerana ia dapat menembusi permukaan wafer dengan lebih dalam dan menghilangkan kelembapan dalam masa beberapa saat sahaja. Ini membolehkan peralatan kita menggunakan ruang yang lebih sedikit di lantai.
Cabaran: Mengurus haba
Namun, ada cabaran lain. Lampu inframerah yang berintensiti tinggi menghasilkan haba yang banyak. Kita tidak boleh sekadar menyambungkannya dan meninggalkannya begitu sahaja.
Jika tiada sistem penyejukan yang efektif, badan peralatan akan mula melengkung. Lebih teruk lagi, lampu tersebut akan rosak lebih awal akibat haba yang berlebihan. Kita perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik, atau kita akan membuang wang untuk membeli alat ganti.
Kita merancang lampu ini agar boleh digunakan sebagai pengganti yang sesuai. Dengan menyesuaikan panjang gelombangnya agar sesuai dengan cara air menyerap haba, kita dapat mengeringkan wafer dengan sempurna tanpa memanaskan substratnya secara berlebihan. Cara ini memang berkesan.