http://eco-ir-heat.com/ms/tags/modul/ Recent content in Modul on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo ms Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800 http://eco-ir-heat.com/ms/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800 http://eco-ir-heat.com/ms/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Modul pemanasan inframerah untuk fabrikasi"></p> <p>Di kawasan proses litografi, perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pemanasan bahan <a href="https://goldisgood.com">fotoresist</a> sudah cukup untuk mengubah garis sempadan yang sepatutnya terkawal menjadi tidak stabil. Anda tidak boleh mencapai hasil yang memuaskan dengan menggunakan nilai tetapan yang berubah-ubah. Oleh itu, kami membina modul pemanasan inframerah yang memastikan suhu kekal dalam lingkungan yang ditetapkan, dari satu sesi ke sesi yang lain.</p> <p><strong>Apa yang penting dari segi teknikal:</strong><br> Kami menggunakan pengeluar sinar inframerah gelombang pendek dengan filamen yang memberikan respons yang cepat. Ini membolehkan proses pemanasan berlaku dengan cepat dan keadaan suhu tetap stabil. Kestabilan suhu pada tahap wafer adalah sekitar ±0.1°C, manakala ketepatan pengulangan antara pelbagai kumpulan produk adalah ±0.2°C. Sistem kawalan termal menggunakan prinsip PID, dengan pembetulan yang <a href="https://o-yate.net">dilakukan</a> dalam masa beberapa saat sahaja. Modul-modul ini beroperasi dalam bilik bersih kelas 1–100, dan komponen-komponen yang digunakan diperbuat daripada kuarsa/keramik agar tiada zarah terhasil—tiada pelepasan gas, tiada keretakan, dan tiada pencemaran.</p>