Houd je halfgeleideronderdelen schoon
Als je een cleanroom van klasse 100 hebt, weet je vast al dat luchtfilters maar de helft van het probleem oplossen. Het echte probleem zijn de stoffen die je niet kunt zien.
De meeste infraroodlampen vormen een risico. De coating op deze lampen kan lossen, of het kwarts kan onder invloed van de hitte kapotgaan. Hierdoor komen kleine deeltjes terecht op je siliciumwafers. Dat is een nachtmerrie.
Waarom we goud gebruiken
We hebben gekozen voor een coating van hoogzuiver goud op het kwarts om dit te voorkomen. Goud is ideaal, omdat het zich niet oxideert. In tegenstelling tot goedkopere reflectoren, die kapotgaan bij hoge temperaturen, blijft goud stabiel. Het stuurt de infrarode straling precies waar het nodig is – richting het doelwit – zonder energie te verspillen aan de behuizing van de lamp.
Over de materialen
Het kernmateriaal bestaat uit hoogzuiver synthetisch kwarts. Hierdoor zal er tijdens het verhitten niets uitlekken. Er zijn geen vreemde chemische sporen op de wafers te zien. Alleen schone warmte.
We gebruiken vacuümdepositie om het goud aan te brengen. Hierdoor ontstaat een sterke verbinding tussen het goud en het kwarts. De coating zal niet loskomen, zelfs niet wanneer de temperatuur snel verandert. Wanneer je werkt met 300 mm grote wafers en nauwe toleranties, zijn die paar micron aan goud cruciaal om je chips te beschermen tegen schade.
Enkele punten om rekening mee te houden
Goudcoated lampen zijn inderdaad de beste optie, maar ze zijn wat gevoelig. Raak de beklede oppervlakken absoluut niet aan met blote handen. Zelfs een klein beetje huidolie kan het goud beschadigen tijdens het eerste verhitten. Dat leidt tot ‘hot spots’. Het is een gemakkelijke fout, maar het heeft ernstige gevolgen.
Omdat goud de manier waarop warmte wordt uitgestraald verandert, moet je je PID-controleurs misschien aanpassen. Anders kan de gewenste temperatuur niet worden behaald.
Een laatste tip: gebruik altijd een speciale stroombron. Hierdoor blijft de spanning constant en brandt de gloeidraad niet te vroeg door.