Components voor het verhitten van Extreme UV (EUV) resist

Mon, 06 Jul 2026 07:46:06 +0800

Inleiding

De waarheid is dat we onderdelen voor de verwarmingsapparatuur van EUV-resist maken om één simpele reden: zodat uw lithografieapparaten continu kunnen werken. Geen stilstand, geen problemen.
De eisen zijn streng, de toleranties zeer klein en de omstandigheden uiterst zwaar. Daarom staan we achter onze producten met een solide 24-maands kwaliteitsgarantie. En als er toch iets misgaat, staan we klaar met een 24-uurs technische ondersteuning. Want wanneer uw apparaten niet werken, kost elke minuut u geld.

Online reserveonderdelen voor waferverwerking

Thu, 02 Jul 2026 08:12:44 +0800

In een lithografiecel kan men geen afwijkingen in de temperatuur toestaan. Een verschil van 2°C tijdens het verhitten van de fotoresist zorgt voor een oneffenheid in de dikte van deze laag. Bovendien zorgt ongelijkmatig verhitten voor restspanningen die zich in de film vastzetten. Dat is geen theorie – het resulteert in schade aan de wafers, niet-nagekomen specificaties en onverwachte stilstandstijden. We hebben onze onderdelen speciaal ontworpen om dit soort problemen te voorkomen: verwarmingselementen die een temperatuurconstantie van ±0,1°C mogelijk maken, zodat alle verwerkingsstappen binnen de gewenste grenzen blijven.

Delen on Eco-Friendly Infrared Heating

Components voor het verhitten van Extreme UV (EUV) resist

Inleiding

Online reserveonderdelen voor waferverwerking