Energie on Eco-Friendly Infrared Heating

Energieaudit voor fab drogen

Sat, 25 Jul 2026 04:34:41 +0800

Stop met het toestaan dat je verwarmingselementen je productiecapaciteit beperken.
Als je een Class 100-stroomvrije ruimte gebruikt, weet je vast al hoe frustrerend dit kan zijn. Eén klein stofdeeltje of een beetje uitstoot van gassen kan al zorgen voor een grote daling in de productiecapaciteit. Het is erg vervelend. Vooral omdat de gereedschappen die je gebruikt om de wafer of andere onderdelen te drogen, juist zelf deel uitmaken van de oorzaak van het probleem.

Daarom hebben we gekozen voor IR-lampen gemaakt van synthetisch kwarts met een hoge zuiverheid.
Het geheim zit in het kwarts.
We gebruiken gefuseerd kwarts met bijna geen onzuiverheden. Waarom? Omdat goedkope materialen bij hoge temperaturen metalenionen of organische verbindingen uitzenden. Dat is niet goed. Kwarts oxideert of lost zich niet op, in tegenstelling tot de metalen verwarmingselementen. Bovendien geeft kwarts stralingswarmte af; deze warmte bereikt het te drogen oppervlak rechtstreeks. Hierdoor wordt de luchtomgeving niet verstoord, zodat de laminerale luchtvloeiing op zijn plek blijft.

Energiebesparend halfgeleiderverwarming

Fri, 24 Jul 2026 11:41:12 +0800

Stop met het opwarmen van de lucht: een slimmere manier om de hitte in halfgeleiders te beheersen

Laten we eerlijk zijn over traditionele convectieovens. Het zijn in feite enorme dozen die elke enkele luchtmoleculaat binnendoor verwarmen, alleen maar om een piepkleine chip op de juiste temperatuur te brengen. Dat is enorm veel energieverbruik.
We hebben een betere manier gevonden. In plaats van de hele ruimte op te warmen, gebruiken we kortegolf-infraroodlampen om rechtstreeks de oppervlakte van de chip te bereiken. Het is een beetje zoals wanneer je van een ruimtetemperatuurverwarmer overstapt op een warmtelamp: je hoeft niet langer de muren van je apparaat op te warmen, maar kunt die energie gebruiken waar ze echt nodig is.
De kracht van stralingswarmte
Kortegolf-infrarood werkt bij een hogere frequentie. Dat betekent dat de energie niet alleen op het oppervlak blijft, maar ook door het materiaal heen dringt. Je bereikt zo sneller de gewenste temperatuur. In een “Groene Fabriek” telt iedere kilowattuur. Door hoogwaardige lampen te gebruiken, kun je het energieverbruik drastisch verminderen. Het gaat erg snel. En dat heeft invloed op je energierekening.
Wat zit er dan eigenlijk in de lamp?
We slagen erin om kwaliteit te behouden. We gebruiken kwartskamers van hoge zuiverheid en halogeencircuits om te voorkomen dat de filaments verslechteren. Het halogeengas is hierbij belangrijk: het voorkomt dat het tungsten te snel verdampt. Zonder dit gas zouden de buizen na verloop van tijd donker worden en hun functie verliezen. Daarnaast gebruiken we speciale coatingen om de golflengte af te stemmen. We willen dat het silicium of de fotoresist de hitte opneemt, in plaats van deze terug te kaatsen naar het apparaat.
De uitdagingen bij integratie
Je kunt niet zomaar een lamp vervangen en klaar zijn. Je moet rekening houden met je stroomnetwerk. Deze hoge-sterkte lampen trekken veel stroom zodra ze worden aangezet. Als je de stroomvoorzieningen en PID-controllers niet goed instelt, zal het systeem steeds opnieuw worden uitgeschakeld.
Houd ook rekening met de koeling. Kortegolf-infraroodlampen genereren veel hitte. Als de koelingsystemen niet goed zijn geconfigureerd, kunnen de uiteinden van de lampen beschadigen, of erger nog: kan de kwartsbuis barsten onder de druk.
Maar als alles goed is ingesteld? Dan nemen de productietijden af. Kortere opwarmtijden betekenen minder CO2-uitstoot per geproduceerde eenheid. Het is gewoon een schone manier van werken.

Energie efficiënte waferverwarmer

Sat, 20 Jun 2026 05:28:55 +0800

Op de productielijn is temperatuurschommeling tijdens het zachte of harde bakken geen klein probleem: het leidt tot echte defecten. Bij te lage temperaturen tijdens het zachte bakken blijft er oplosmiddel achter in de fotoresist. Bij te hoge temperaturen tijdens het harde bakken ontstaat er stroming, waardoor de patronen vervaagd raken. Het gevolg is dat er afgedankte wafers zijn, extra werk moet worden verricht en er energie wordt verspild die niet kan worden gerecycled.

Wat technisch gezien belangrijk is We hebben een warmtepomp ontworpen die ervoor zorgt dat de temperatuur op het niveau van de wafel constant blijft bij ±0,1°C, gedurende het hele proces. Hierdoor is het mogelijk om het bakproces nauwkeurig te beheren en blijft de controle over de essentiële dimensies stabiel. De snel reagerende elementen zorgen voor precieze temperatuurregeling. Het apparaat is compatibel met schone ruimtes van klasse 1–100, zonder dat er extra deeltjes vrijkomen. Het apparaat kan 24/7 draaien, zonder onverwachte stilstandsperioden. De lage energieverbruik zorgt voor lagere kosten, terwijl de temperatuurstabiliteit behouden blijft.