Infraroodverwarmingselementen voor fabrieken

Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800

Op de lithografielijn is het voldoende om de temperatuur tijdens het drogen van de fotorezyst met maar een halve graad te laten verschuiven, zodat de gewenste lijndiktes niet meer behouden blijven. Met dergelijke schommelingen in de temperatuur kan je de productiekwaliteit niet garanderen. Daarom hebben we infraroodverwarmingsmodules ontwikkeld die ervoor zorgen dat de temperatuur binnen de vereiste grenzen blijft, shift na shift.

Wat technisch gezien belangrijk is: We gebruiken kortegolf-infraroodemitters met snel reagerende filamenten. Hierdoor kan de Temperatuur snel worden geregeld en blijft deze stabiel. Op het oppervlak van de plaat blijft de uniformiteit op ±0,1°C, terwijl de herhaalbaarheid tussen verschillende batches op ±0,2°C ligt. Er wordt gebruik gemaakt van gesloten-lusregeling en PID-technologie, zodat de temperatuur meteen wordt gecorrigeerd wanneer de deur wordt geopend. De modules zijn geplaatst in een steriele omgeving van klasse 1–100. Het kwarts/ceramische apparaat zorgt er bovendien voor dat er geen deeltjes vrijkomen – geen uitgasen, geen afbladderingen, geen vervuiling.

Modulen on Eco-Friendly Infrared Heating

Infraroodverwarmingselementen voor fabrieken