Infraroodverwarmer voor vacuümkamer

Wed, 03 Jun 2026 10:08:52 +0800

Op de 300mm-lijn is soft bake geen optie — het is je thermisch budget, heel eenvoudig. Een temperatuurschommeling van 2°C over de wafer kan de CD met nanometers verschuiven, en de vacuümkamer verergert elke drift alleen maar. We hebben onze vacuümkamer IR-verwarmer zo ontworpen dat deze variabiliteit uit de vergelijking verdwijnt, zodat de temperatuur herhaalbaar blijft waar lithografie en dunne-film processen dat vereisen.
Wat er onder de motorkap speelt
We gebruiken kortegolf-infrarood (NIR) emitteren in een snel reagerende kwartsomhulling, afgestemd om snel te stabiliseren onder vacuüm. De uniformiteit in het wafervlak blijft op ±0,1°C binnen het procesvenster, en batch-naar-batch herhaalbaarheid blijft binnen ±0,5°C. Het verwarmingselement is ontworpen voor integratie in Class 1–100 cleanrooms: materialen met lage uitstoot en een layout die deeltjesvorming minimaliseert om contaminatie van de wafer te voorkomen. Het vermogen blijft stabiel van idle tot volle belasting, en de regelkring compenseert emissiviteitsschommelingen over gepatroneerde wafers zonder overshoot.
Waarom dit essentieel is bij fotolakverwerking
Bij soft bake, hard bake en post-exposure bake levert temperatuurprecisie directe controle over CD, consistente zijwandprofielen en minder herbewerkingsseries. De verwarmer is schoon en contactloos, waardoor thermische vertraging afneemt en er geen hot-zone contaminatie wordt geïntroduceerd. Dit houdt het aantal deeltjes stabiel en de defectprestaties voorspelbaar. Voor geavanceerde nodes betekent dit een hogere first-pass yield en minder afval. Voor de fabriek betekent het dat het thermische proces zich ’s nachts om 3 uur hetzelfde gedraagt als ’s middags om 3 uur.
Wat je moet plannen
De unit moet thermisch stevig verankerd worden aan het kamerblok om het uniformiteitsdoel te halen — uitlijning die afwijkt resulteert in een meetbare temperatuurgradiënt. Je doorloopt de inbedrijfstelling snel zodra je de emissiviteitstabellen hebt afgestemd op je filmstack. Daarna draait het systeem met minimaal onderhoud, maar de output van de emitter neemt na verloop van tijd af. Plan vervangingen op basis van uptime en hoe gevoelig je proces is.

Vacuum on Eco-Friendly Infrared Heating

Infraroodverwarmer voor vacuümkamer