Out on the fab floor, een temperatuurafwijking van enkele graden tijdens het bakken van photoresist is geen ‘kleine afwijking’. Het raakt direct de...

Op de productievloer is een drift van 0,1°C tijdens het drogen van wafers of het bakken van photoresist voldoende om een kritische maat buiten...

Stel je de laatste scène van je favoriete film voor. De dialoog is helder, het beeld is perfect, en dan schakelt de HVAC in. Een luchtstroom, een...

Op de 300mm-lijn is soft bake geen optie — het is je thermisch budget, heel eenvoudig. Een temperatuurschommeling van 2°C over de wafer kan de CD met...

Op de werkvloer houdt de tracker zijn constante ritme aan. Je voelt de cleanroomlucht op je huid, en je voelt ook de druk. Eén oven loopt uit. De...