http://eco-ir-heat.com/pl/tags/pr%C3%B3%C5%BCnia/ Recent content in Próżnia on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo pl Wed, 03 Jun 2026 10:08:52 +0800 http://eco-ir-heat.com/pl/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Wed, 03 Jun 2026 10:08:52 +0800 http://eco-ir-heat.com/pl/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Promiennik podczerwieni do komory próżniowej"></p> <p>Na linii 300mm soft bake nie jest opcją — to Twój budżet termiczny, prosto i bezpośrednio. Zmiana o 2°C na powierzchni wafla może przesunąć CD o nanometry, a komora próżniowa tylko pogarsza jakiekolwiek odchylenia. Zbudowaliśmy nasz promiennik IR do komory próżniowej tak, aby wyeliminować tę zmienność, dzięki czemu temperatura pozostaje powtarzalna tam, gdzie wymagają tego litografia i prace z cienkimi warstwami.</p> <p><strong>Co jest kluczowe pod maską</strong><br> Stosujemy emitery bliskiej podczerwieni (NIR) w szybkokurczliwym kwarcowym opakowaniu, dostrojone do <a href="https://henruite.com">szybkiego</a> ustalania temperatury pod próżnią. Jednorodność temperatury na płaszczyźnie wafla utrzymuje się na poziomie ±0,1°C w całym zakresie procesu, a powtarzalność między partiami mieści się w ±0,5°C. Obudowa grzejnika została zaprojektowana z myślą o <a href="https://o-yate.net">integracji</a> w cleanroomie klasy 1–100: materiały o niskim poziomie emisji gazów oraz układ minimalizujący cząstki, który zapobiega zanieczyszczeniom wafla. Moc promiennika pozostaje stabilna od stanu bezczynności do pełnego obciążenia, a pętla sterowania kompensuje zmiany emisyjności na waflach z wzorami bez przeregulowań.</p>