Módulos de aquecimento por infravermelho para fábricas

Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800

No ambiente de litografia, basta um desvio de meio grau na temperatura durante o processo de cura do fotoresist para que as linhas definidas se tornem instáveis. Não é possível garantir a qualidade do produto com valores de temperatura que variam constantemente. Por isso, desenvolvemos módulos de aquecimento por infravermelhos que mantêm o comportamento térmico dentro dos limites estabelecidos, de turno em turno.

O que é importante, tecnicamente:
Utilizamos emissores de infravermelhos de onda curta, com filamentos de resposta rápida, o que permite um aumento rápido da temperatura e um estado estável. A uniformidade da temperatura sobre toda a superfície do wafer fica entre ±0,1°C, e a repetibilidade entre diferentes lotes é de ±0,2°C. O controle é feito por meio de sistemas de pirometria em circuito fechado e algoritmos PID, com correções em frações de segundo, evitando assim variações de temperatura quando a porta se abre. Os módulos são instalados em salas limpas de classe 1–100, com sistema de alimentação e filtragem adequados. Além disso, o conjunto de quartzo/cerâmica é projetado para não gerar partículas alguma – sem emissão de gases, sem descamação e sem contaminação.

Módulos on Eco-Friendly Infrared Heating

Módulos de aquecimento por infravermelho para fábricas