Как сохранить чистоту поверхности полупроводниковых пластин при нагревании
Если вы работаете в чистой комнате класса 100, вы уже знаете, что фильтры воздуха – это лишь половина решения проблемы. Настоящая проблема заключается в том, что невозможно увидеть те частицы, которые могут повредить поверхность пластин.
Большинство инфракрасных ламп представляют собой проблему: их покрытия отслаиваются, или кварц разрушается под действием высоких температур, в результате чего на поверхность пластин попадают мелкие частицы. Это настоящий кошмар.
Почему мы используем золото
Мы выбрали покрытие из высокочистого золота для кварцевой оболочки, чтобы предотвратить это явление. Золото отлично подходит для этой цели, поскольку оно не окисляется. В отличие от более дешевых рефлекторов, золото сохраняет свои свойства даже при экстремальных температурах. Оно направляет инфракрасное излучение точно туда, куда нужно, не тратя энергию впустую.
Детали по поводу материалов
Ядро лампы состоит из высокочистого синтетического кварца. Мы используем его для того, чтобы ничего не выделялось в процессе нагрева. Никаких неожиданных химических следов на поверхности пластин – только чистое тепло.
Золото наносится с помощью вакуумного напыления. Это создает прочную связь между золотом и кварцем. Покрытие не отслаивается даже при резких изменениях температуры. Когда вы работаете с пластинами размером 300 мм и требуетесь строгая точность, именно эти несколько микрон золота помогают избежать порчи чипов.
Некоторые советы
Лампы с золотым покрытием – это самый чистый вариант, но они достаточно чувствительны к внешним факторам. Во-первых, не трогайте покрытую поверхность голыми руками. Даже небольшое количество кожного сала может повредить золотое покрытие во время первого нагрева, что приведет к появлению «точек перегрева». Это легкая ошибка, но она может иметь серьезные последствия.
Кроме того, из-за того, что золото меняет способ излучения тепла, возможно, потребуется настроить контроллеры PID. В противном случае температура может превысить заданный уровень.
Еще один совет: используйте специálnный источник питания. Он обеспечивает стабильное напряжение и предотвращает преждевременное повреждение нитью нагревателя.