บทนำ ความจริงก็คือ เราผลิตชิ้นส่วนสำหรับอุปกรณ์ทำความร้อนในกระบวนการ EUV resist ด้วยเหตุผลง่ายๆ...

ในกระบวนการผลิต หน่วยเครื่องจักรสำหรับการพิมพ์แบบลิโธกราฟีไม่สามารถรับมือกับความผันผวนของอุณหภูมิได้ การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 2°C...