Eski yöntemleri terk etmek: MEMS waflarını kızılötesi ışıkla kurutmak
MEMS sensörleri üretirken, bu waflardaki nemin giderilmesi oldukça zor bir iştir. Suyun hızla uzaklaştırılması gerekiyor; ancak ısı kontrolü yanlış yapılırsa malzeme hasar görür ve ürünler bozulur. İşte bu yüzden kısa dalga boyundaki kızılötesi ışık lambalarını kullanıyoruz.
Standart bir konveksiyon fırını düşünün. Sadece bir waferi kurutmak için havayı, duvarları ve tüm odayı ısıtır. Bu da enerji israfı demektir. Kızılötesi ışık ise farklıdır; doğrudan wafer yüzeyine etki eder. Araya hiçbir aracı girmez.
Aslında fiziksel işleyişi oldukça basittir. Bu lambalar elektriği ışık enerjisine dönüştürür. Büyük miktarda enerjinin küçük bir alanda toplanması sayesinde su, birkaç saniye içinde yüzeyden uzaklaşır. Waferin etrafındaki havayı ısıtmaya çalışmadığınız için enerji israfı olmaz. İşte bu da “yeşil” olan yanıdır. Daha az enerji israfı demek, daha az karbon ayak izi demektir.
Şimdi de bu lambaların kendisinden bahsedelim. Bunları yüksek saflıkta kuvars içinde tungsten filamentler kullanarak üretiyoruz. Daha etkili olmaları için kuvarsın üzerine özel kaplamalar ekliyoruz. Bu kaplamalar sayesinde enerji doğrudan su damlacıklarına yönlendirilir ve silikon tabanına nüfuz etmez.
Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Güç döngülerine dikkat etmelisiniz. Bu lambalar güçlü oldukları için hızlı çalışırlar; ancak güç kaynağınıza büyük yük bindirirler. Eğer devreyi açtığınızda meydana gelen ani akım artışına hazır değilseniz, sürekli sigortaları değiştirmek zorunda kalırsınız.
Fabrikalarda kullanımı ise oldukça basit. Hâlâ eski gazlı sistemler veya büyük fırınlar kullanıyorsanız, bunların yerine kızılötesi lambaları kullanmak mantıklıdır. Böylece her wafer için harcanan enerji miktarı azalır.
Bu lambaları kolayca değiştirebileceğiniz şekilde tasarladık; böylece yükseltme işlemleri için tüm üretim hattınızı haftalarca durdurmanıza gerek kalmaz. Wafleriniz daha hızlı işlenir ve emisyonlarınız azalır.
Unutulmaması gereken bir şey daha var: Işığın şiddeti ne kadar yüksekse, lambanın soğutulması konusunda o kadar dikkatli olmalısınız. Aksi takdirde bağlantı noktalarınız eriyebilir ve bu da kimseyin istemediği bir sorundur.