http://eco-ir-heat.com/tr/tags/mod%C3%BCller/ Recent content in Modüller on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo tr Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800 http://eco-ir-heat.com/tr/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800 http://eco-ir-heat.com/tr/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Üretim için kızılötesi ısıtma modülleri"></p> <p>Litografi işlemlerinde, fotoresistin kurutulması sırasında <a href="https://o-yate.com">meydana</a> gelen yarım derecelik bir sapma bile, kontrol altındaki çizgi genişliklerini istenmeyen değerlere dönüştürmeye yetebilir. Değişken olan ayar noktalarıyla verimliliği artırmak mümkün değildir. Bu yüzden, süreç boyunca termal davranışların belirlenen aralıkta kalmasını sağlayan kızılötesi ısıtma modülleri geliştirdik.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar:</strong><br> Hızlı tepki veren filamentlere <a href="https://o-yate.net">sahip</a> kısa dalga boylu kızılötesi ısıtıcılar kullanıyoruz; böylece hızlı bir ısınma ve stabil bir durum elde ediliyor. Sıcak plaka üzerindeki wafelerin homojenliği ±0,1°C civarında kalıyor; farklı partiler arasındaki tekrarlanabilirlik ise ±0,2°C’dir. Kontrol işlemleri kapalı döngüli pirometri ve PID sistemleri tarafından yapılır ve saniyeler içinde düzeltmeler yapılır; böylece kapı açıldığında sıcaklık artmaz. Modüller, 1–100 sınıfı temiz oda koşullarında çalışır ve kuvars/kseramik yapılar sayesinde hiçbir parça üretilmez; gaz salınımı, dökülme veya kirlenme olmaz.</p>