Wafer işleme yedek parçaları çevrimiçi
Litografi üniteleri, sıcaklık değişikliklerine karşı dayanıklı değildir. Yumuşak pişirme işlemi sırasında meydana gelen 2°C’lik bir değişiklik,...
Axcelis ısıtıcı eleman yedek parça
Fabrika alanında Fotoresist pişirmesi sırasında birkaç derece sıcaklık kayması “küçük bir sapma” değildir. Bu, Kritik Boyut (CD) birliğine doğrudan...