На лінії 300 мм одна водяна пляма після очищення здатна зіпсувати всю партію. Ми розробили Deionized Water Drying Lamp, щоб усунути цей вид відмови, забезпечуючи контрольоване випаровування без залишків плівки та без пікових викидів часток.
Що має значення технічно
Лампа містить короткохвильові інфрачервоні випромінювачі в герметичному корпусі, сумісному з чистими приміщеннями. Вона безпосередньо нагріває поверхню вафера, що дозволяє уникнути затримок, типових для конвекції. Температурна однорідність по ваферу становить ±0.1°C, а повторюваність встановленої точки — ±0.2°C протягом понад 10 000 циклів випікання.
Перехід від холодного запуску до стабільного профілю випікання займає менше 30 секунд, при цьому генерування часток відсутнє, підтверджено відповідністю базовим нормам ISO Class 1–100. Система розрахована на цілодобову роботу з прогнозованим тепловим зворотним зв’язком, який утримує дрейф виходу нижче 5% протягом 5 000 годин.
Чому це працює у реальних технологічних операціях
На етапах сушки після очищення та випікання фоторезисту лампа зберігає тепловий бюджет, запобігаючи перепіканню — явищу, що може викликати витоншення TTOP або зсув профілю “ступні”. Це забезпечує більш точний контроль CD і меншу кількість переробок як на м’якому, так і на жорсткому випіканні, при цьому економить енергію в порівнянні з роботою з повно-камерними плитами для випікання.
Отримують вищу пропускну здатність і розширене технологічне вікно, а також зменшення відбраковування партій через залишкові водяні плями.
Що потрібно врахувати при плануванні
Лампа потребує кріплення класу чистої кімнати та виділеного, фільтрованого живлення для забезпечення стабільності температури на необхідному рівні. Вона оптимізована для ваферів 150/200/300 мм.
Набори для модернізації сумісні з більшістю платформ треків, але при інтеграції з застарілими печами може знадобитися спеціальний фіксатор для вирівнювання поля опромінення. Плануйте короткий кваліфікаційний запуск для фіксації профілю випікання та підтвердження характеристик часток у порівнянні з вашим базовим рівнем.