На виробничій лінії зміна температури під час процедур м’якого або жорсткого випалювання не є просто перешкодою для подальшої обробки – це призводить до справжніх дефектів. Недостатнє нагрівання під час м’якого випалювання призводить до залишення розчинників у фотолаку. Надмірне нагрівання під час жорсткого випалювання спричиняє нерівномірний розподіл речовини, що призводить до нечітких форм креслень. У результаті цього виникає необхідність утилізації бракованих пластин, повторної обробки, а також витрат енергії, які неможливо собі дозволити.
Які параметри є важливими з технічної точки зору?
Ми створили нагрівач, який забезпечує однорідність температури на всій поверхні пластини на рівні ±0,1°C протягом усього процесу випалювання. Це дозволяє забезпечити стабільність параметрів фотолаку та контроль його параметрів. Елементи швидкої реакції забезпечують точний контроль температури, а конструкція пристрою сумісна з умовами чистих кімнат класу 1–100 без утворення домішок. Пристрій може працювати 24/7 без перерв, а низьке споживання енергії дозволяє знизити витрати, не втрачаючи при цьому стабільності температури.
Встановлення та калібрування
Встановлення полягає у відповідності розмірів пристрою до існуючих устаткувань та систем. Ми надаємо креслення для підключення та документацію щодо сумісності елементів, що дозволяє без проблем встановити пристрій.
Необхідно провести коротку серію тестів, щоб визначити оптимальні параметри випалювання для конкретного типу фотолаку. Пристрій є міцним, але все одно потребує періодичного калібрування – його потрібно трети так само, як і будь-який інший інженерний пристрій.