Відмова від старих методів: сушіння пластин MEMS за допомогою інфрачервоного світла
Під час виробництва датчиків типу MEMS необхідно ефективно позбутися вологи з поверхні цих пластин. Вода мусить зникнути якомога швидше, але якщо неправильно регулювати температуру, це може пошкодити матеріал та зіпсувати всю партію продукції.
Саме тому ми використовуємо лампи з короткохвильовим інфрачервоним світлом.
Уявіть собі звичайну конвекційну піч – вона нагріває все навколо: повітря, стіни, всю кімнату, лише для того, щоб висушити одну пластину. Це марна трата енергії. Інфрачервоне світло працює інакше – воно потрапляє безпосередньо на поверхню пластини, без жодних посередників.
Фізика процесу насправді досить проста: ці лампи перетворюють електроенергію на тепло. Ми розташовуємо їх так, щоб багато енергії потрапляло в невеликий простір, що дозволяє воді швидко випаровуватися з поверхні пластини. Оскільки не потрібно нагрівати повітря навколо пластини, енергія не витрачається марно. Ось у чому справа „зеленого“ способу обробки – менше втрат енергії означає менше викидів вуглецю. Просто.
Що стосується самої лампи, то вона складається з вольфрамових філаментів, розташованих у кварці високої чистоти. Щоб зробити її більш ефективною, ми додаємо до кварцу спеціальні покриття. Це дозволяє енергії потрапляти безпосередньо на краплі води, а не проникати в силіконову основу.
Але є одна важлива порада: слідкуйте за рівнем енергоспоживання. Ці лампи працюють швидко, але сильно навантажують джерело живлення. Якщо ваша електропроводка не витримає початкового підвищення струму при увімкненні лампи, вам доведеться частіше замінювати фіузи.
Якщо ви все ще використовуєте старі газові системи чи великі печі, заміна їх на лампи з інфрачервоним світлом є очевидним рішенням. Це дозволяє зменшити загальне споживання енергії на одну пластину.
Ми розробляємо ці лампи так, щоб їх можна було легко встановити замість старих пристроїв. Таким чином ви не будете змушені зупиняти весь процес виробництва на кілька тижнів лише для оновлення обладнання. Пластини будуть оброблятися швидше, а викиди зменшаться.
Є ще одна річ, про яку потрібно пам’ятати: чим більша інтенсивність світла, тим більше потрібно піклуватися про охолодження корпусу лампи. Якщо цього не зробити, контакти можуть розплавитися, а це проблема, якої ніхто не хоче.