Відбивач on Eco-Friendly Infrared Heating

Рефлектор для лампи для висушування пластин

Mon, 20 Jul 2026 11:17:18 +0800

Як запобігти несправностям ламп для висушування пластин
Під час обробки пластин необхідно підтримувати ідеальну температуру. Для цього використовуються лампи високої щільності світіння та рефлектори, призначені для точного контролю температури. Але є одна проблема: коли така велика кількість енергії надходить у малий простір, це може призвести до витоків електричного струму. Це справжня проблема, яку потрібно правильно вирішувати.

Чому ми тестуємо кожну лампу
Ми не проводимо вибіркових тестів. Це підходить лише для тих, хто готовий ризикувати своїм обладнанням. Натомість кожна лампа проходить тести на стійкість до високої напруги та на опір ізоляції ще до того, як потрапить на наш завод. 100% ламп проходять такі тести.
Чому? Тому що в системі для обробки пластин навіть найменший отвір в ізоляції чи мікроскопічна тріщина в кварці можуть спричинити серйозні проблеми. У результаті може виникнути коротке замикання, і тоді доведеться замінювати не лише фіузу, а й всю електроніку. Крім того, іонізовані частинки можуть пошкодити самі пластини.
Під час тестів ми піддаємо ізоляцію максимальним навантаженням, щоб вона могла ефективно функціонувати під час роботи на виробничій лінії.

Алюмінієвий відбивач для ІЧ лампи

Sun, 19 Jul 2026 15:26:30 +0800

Як позбутися кошмару несправностей ламп у процесі обробки ваферів
Якщо у вас коли-небудь ламалася інфрачервона лампа під час роботи на повну потужність, ви знаєте, що це означає – не лише перерва у роботі. Це справжня катастрофа: уламки скла та вольфрамові нитки потрапляють на вафери, що є причиною їх забруднення.

Ми доклали багато зусиль, щоб знайти спосіб запобігти таким ситуаціям.

Чому важливий алюмінієвий відбивач
Ми використовуємо відбивачі з високочистого алюмінію не лише для направлення тепла. Їх можна вважати своєрідною „захисною мережею“. Розміщуючи лампу в спеціальній алюмінієвій коробці, ми створюємо фізичний бар’єр. Якщо лампа все ж таки зламається, коробка захищає вафери від уламків.

Інфрачервона лампа з золотим відбивачем

Fri, 19 Jun 2026 05:42:16 +0800

На виробничій лінії температурні коливані під час обробки фотохімікатів є явищем, яке можна відчути ще до того, як його побачити. Структура шару фотохімікату починає змінюватися, контроль параметрів CD стає складнішим, а профілі температури під час обробки також змінюються. Коли це відбувається, продуктивність виробництва також знижується.

Що є важливим у конструкції цієї лампи
Ми створили цю інфрачервону лампу на основі конструкції з золотим відбивачем, що дозволяє спрямовувати інфрачервоне випромінювання саме туди, де це необхідно, та запобігати появі зайвого тепла. Результатом є однорідність температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C, а також швидка реакція лампи на зміни параметрів. Філамент та корпус лампи розроблені для роботи в умовах чистої кімнати класу 1–100 – без утворення частинок та зі стабільною продуктивністю протягом понад 5,000 годин. Ця стабільність дозволяє зберігати константні параметри температури під час обробки фотохімікатів, що, у свою чергу, сприяє правильній роботі процесів літографії та етchingу.