Bộ sưởi hồng ngoại tương thích với môi trường chân không

Sat, 18 Jul 2026 04:03:21 +0800

Tại sao chúng ta phải kiểm tra kỹ lưỡng các bộ sưởi bằng tia hồng ngoại trong môi trường chân không?
Điều đặc biệt ở môi trường chân không là nó thay đổi hoàn toàn quy luật vận hành của các thiết bị điện. Khi chúng ta loại bỏ không khí khỏi buồng chân không, dòng điện sẽ không còn hoạt động như bình thường nữa. Trong một căn phòng bình thường, không khí đóng vai trò như một lớp cách điện tự nhiên. Nhưng trong môi trường chân không, lớp cách điện này biến mất. Lúc đó, nguy cơ xảy ra hiện tượng phóng điện hoặc đứt gãy màng cách điện trở thành vấn đề nghiêm trọng.

Bộ gia nhiệt hồng ngoại buồng chân không

Wed, 03 Jun 2026 10:08:52 +0800

Trên dây chuyền 300mm, soft bake không phải là tùy chọn — đó chính là ngân sách nhiệt của bạn, đơn giản và rõ ràng. Biến động 2°C trên toàn wafer có thể làm thay đổi CD theo nanomet, và buồng chân không chỉ làm cho sự thay đổi này trở nên nghiêm trọng hơn. Chúng tôi thiết kế bộ gia nhiệt IR trong buồng chân không để loại bỏ sự biến động đó, giúp nhiệt độ duy trì ổn định ở mức cần thiết cho quá trình lithography và làm việc màng mỏng.

Chân Không on Eco-Friendly Infrared Heating

Bộ sưởi hồng ngoại tương thích với môi trường chân không

Bộ gia nhiệt hồng ngoại buồng chân không