传感器 on Eco-Friendly Infrared Heating

MEMS传感器晶圆干燥加热器

Fri, 24 Jul 2026 11:25:49 +0800

摒弃旧方法：用红外线干燥MEMS晶圆
在制造MEMS传感器时，去除晶圆上的水分是一项颇具挑战性的任务。必须尽快除去水分，但若控制不好温度，就可能会对材料造成损伤，从而导致整批产品报废。
因此，我们选择使用短波红外线灯。
想象一下传统的对流式烤箱——它需要加热空气、炉壁以及整个房间，只为干燥一块晶圆。这显然是一种浪费。而红外线灯则有所不同，它可以直接照射晶圆表面，无需经过中间介质。
其原理其实很简单：这些灯将电能转化为辐射热能。通过将大量能量集中在一个小空间内，水分子可以在几秒钟内被蒸发掉。由于不需要加热晶圆周围的空气，因此不会浪费能源。这就体现了“绿色环保”的特点——减少热量浪费，从而降低碳排放量。
至于这些灯的构造，它们是由高纯度石英制成的，内部装有钨丝。为了提高效率，我们还在石英表面涂上了特殊涂层。这样就能确保能量直接作用于水滴上，而不是渗透到硅基板上。
不过需要注意的是，这类灯虽然效率高，但对电源的要求很高。如果电路无法承受开关启动时的电流冲击，那么就需要频繁更换保险丝。
在工厂中应用这种技术的话，如果仍然使用传统的燃气灶或大型烤箱，那么换成红外线灯显然是最佳选择。这样可以大幅降低每块晶圆所需的能耗。
我们设计的这些灯可以直接替代旧设备，因此无需停产数周才能进行升级。这样一来，晶圆的加工速度会更快，同时排放量也会降低。
有一点需要注意的是：如果增加光源的强度，就需要更加注意对灯壳的冷却。否则，连接件就有可能被烧坏，那可真是麻烦事了。

氢传感器制造用加热器

Tue, 21 Jul 2026 09:35:45 +0800

确保氢气传感器中的加热器不会发生故障

在制造氢气传感器时，控制好温度至关重要。适当的温度有助于让各种材料结合在一起，同时保证传感元件的稳定性。我们设计的加热器能够承受较高的热量负荷，但说实话，真正让我们担心的并不是高温本身，而是电泄漏问题。只要绝缘层出现哪怕一丝裂缝，就可能导致控制板损坏或基板受到污染。这种状况可不是谁都愿意在周二早上面对的噩梦。

为什么我们要对每一根加热管进行测试

我们不会采用“批量抽样”的方式来进行检测。那样做风险太大了，而且我们的硬件成本实在太高，经不起这样的风险。因此，每根加热管在离开工厂之前，都会经过严格的耐压测试和绝缘电阻测试。我们会将电压提高到远高于正常工作水平的数值。为什么要这么做呢？因为我们要找到那些看不见的缺陷——比如绝缘层中的微小孔洞或陶瓷、石英材料中的微裂纹。如果某根加热管出现故障，那它就会被直接丢弃，没有第二次机会。与其让客户在设备运行过程中面临风险，不如现在就淘汰有问题的部件。

晶圆处理设备的温度传感器

Sun, 19 Jul 2026 15:21:19 +0800

保持晶圆清洁：关于灯管爆裂的真相
如果您从事高负荷的晶圆生产，那么您肯定知道那种糟糕的情况——灯管突然爆裂了。这不仅仅是导致生产线停摆的问题，更严重的是随之而来的混乱状况。当石英外壳破裂后，玻璃碎片和钨丝就会掉落在晶圆上，整个批次的晶圆都会报废。这无疑是一场灾难。