MEMS传感器晶圆干燥加热器

Fri, 24 Jul 2026 11:25:49 +0800

摒弃旧方法：用红外线干燥MEMS晶圆
在制造MEMS传感器时，去除晶圆上的水分是一项颇具挑战性的任务。必须尽快除去水分，但若控制不好温度，就可能会对材料造成损伤，从而导致整批产品报废。
因此，我们选择使用短波红外线灯。
想象一下传统的对流式烤箱——它需要加热空气、炉壁以及整个房间，只为干燥一块晶圆。这显然是一种浪费。而红外线灯则有所不同，它可以直接照射晶圆表面，无需经过中间介质。
其原理其实很简单：这些灯将电能转化为辐射热能。通过将大量能量集中在一个小空间内，水分子可以在几秒钟内被蒸发掉。由于不需要加热晶圆周围的空气，因此不会浪费能源。这就体现了“绿色环保”的特点——减少热量浪费，从而降低碳排放量。
至于这些灯的构造，它们是由高纯度石英制成的，内部装有钨丝。为了提高效率，我们还在石英表面涂上了特殊涂层。这样就能确保能量直接作用于水滴上，而不是渗透到硅基板上。
不过需要注意的是，这类灯虽然效率高，但对电源的要求很高。如果电路无法承受开关启动时的电流冲击，那么就需要频繁更换保险丝。
在工厂中应用这种技术的话，如果仍然使用传统的燃气灶或大型烤箱，那么换成红外线灯显然是最佳选择。这样可以大幅降低每块晶圆所需的能耗。
我们设计的这些灯可以直接替代旧设备，因此无需停产数周才能进行升级。这样一来，晶圆的加工速度会更快，同时排放量也会降低。
有一点需要注意的是：如果增加光源的强度，就需要更加注意对灯壳的冷却。否则，连接件就有可能被烧坏，那可真是麻烦事了。

微机电系统 on Eco-Friendly Infrared Heating

MEMS传感器晶圆干燥加热器