http://eco-ir-heat.com/zh/tags/%E6%88%BF%E9%97%B4%E8%AE%AE%E9%99%A2%E5%95%86%E4%BC%9A/ Recent content in 房间；议院；商会 on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo zh Wed, 03 Jun 2026 10:08:52 +0800 http://eco-ir-heat.com/zh/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Wed, 03 Jun 2026 10:08:52 +0800 http://eco-ir-heat.com/zh/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="真空腔体红外加热器"></p> <p>在300mm生产线上，软烘不是可选项——它就是你的热预算，直截了当。晶圆上2°C的温差就能导致关键尺寸（CD）产生纳米级偏移，而真空腔室只会加剧这种漂移。我们设计的真空腔室红外加热器就是为了消除这类变量，使温度保持可重复，满足光刻和薄膜工艺的需求。</p>