ফ্যাব লেভেলে, ২৪/৭ কাজ চলার অবস্থায় তাপমাত্রার পরিবর্তন কোনোভাবেই গ্রহণযোগ্য নয়। ৯৫°C-এ নরম বেকিং এবং ১১০°C-এ হার্ড বেকিং – এই তাপমাত্রাগুলোই উত্পাদনের গুণমান নিয়ন্ত্রণ করে। যদি তাপমাত্রার পরিবর্তন ±০.৫°C-এর বেশি হয়, তাহলে উত্পাদনে সমস্যা দেখা দেয়।
আমরা সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রপাতির প্রকৃত চাহিদা মেটানোর জন্য আমাদের থার্মাল কোরটি ডিজাইন করেছি; এটা ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়া এবং অ্যাডভান্সড প্যাকেজিং টুলগুলোর জন্য উপযুক্ত।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমাদের হ্যালোজেন-মুক্ত হিটারগুলো NIR তরঙ্গদৈর্ঘ্যে কাজ করে; ১৫০ মিমি ও ২০০ মিমি আকারের সাবস্ট্রেটগুলোতে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে ±০.১°C এর মধ্যে। স্থিতিশীল অবস্থায় তাপমাত্রার পরিবর্তন ±০.০৫°C-এর মধ্যে থাকে।
এই সিস্টেমটি ক্লাস ১–১০০ ধরনের ক্লিনরুমের জন্য উপযুক্ত; স্থিতিশীল অবস্থায় ০.১ মাইক্রোমিটারের বড় কোনো কণা থাকে না। কার্বন-ফাইবার ইনসুলেশনের কারণে শক্তি খরচ ২৫% পর্যন্ত কমে যায়; ১০°C/সেকেন্ড গতিতে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা যায়।
কোয়ার্টজ উইন্ডো ও স্ট্যান্ডার্ড কানেক্টরগুলো SEMI-এর মানদণ্ড অনুযায়ী তৈরি।
ফ্যাব লেভেলে এটি কেন কার্যকর?
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় এটি CD ডিস্ট্রিবিউশনকে নিয়ন্ত্রণ করে এবং পুনর্কাজের পরিমাণ কমায়। প্যাকেজিং লাইনে এটি মোল্ড কিউরিং ও আন্ডারফিল প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে কম ভয়েড ও ডিলামিনেশন হয়।
এর নির্ভরযোগ্যতা ১০,০০০ ঘন্টারও বেশি; কয়েক মাস ধরে কোনো সমস্যা নেই। দ্রুত কোয়ালিফিকেশন সম্ভব, কম বর্জ্য হয়, এবং ব্যয়ও নিয়ন্ত্রণে থাকে – বর্তমান প্রক্রিয়াগুলো অপরিবর্তিত থাকে।
পরিকল্পনার জন্য কী প্রয়োজন?
ইনস্টলেশনের জন্য ২৪ ভোল্ট DC বিদ্যুৎ প্রয়োজন; থার্মাল মডিউলের জন্য ক্লিনরুম-উপযোগী এক্সহস্ট সিস্টেমও প্রয়োজন। পণ্যগুলোর জন্য থার্মাল প্রোফাইল নির্ধারণ করতে প্রায় ২৪ ঘন্টা সময় লাগবে।
এই সিস্টেমটি SEMI-এর মানদণ্ড অনুযায়ী তৈরি; কিন্তু যদি আপনি পুরানো কন্ট্রোলারগুলোর সাথে এটি ব্যবহার করতে চান, তাহলে PLC ম্যাপিং আপডেট প্রয়োজন হতে পারে। আমরা ইন্টারফেস স্পেসিফিকেশন ও অন-সাইট কমিশনিং সেবা প্রদান করি; ফলে পরিবর্তনটি সুষ্ঠুভাবে হয়।