V prostředí lithografie stačí jen půlobvodová odchylka během zahřívání fotorezistu k tomu, aby se kontrolované rozměry proměnily v náhodné hodnoty. Nemůžete dosáhnout požadované kvality s takto nestabilními hodnotami. Proto jsme vyvinuli infračervené ohřevací moduly, které udržují teplotní podmínky v požadovaném rozsahu i při opakovaných procesech.
Co je z technického hlediska důležité: Používáme vysokofrekvenční infračervené emitory s rychle reagujícími vlákny – díky tomu dochází k rychlému zahřátí a stabilnímu stavu. Na povrchu desek je rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C, zatímco opakovatelnost mezi jednotlivými série je ±0,2 °C. Kontrolu zajišťuje uzavřený řetězec měření a regulace PID, s korekcemi v rozmezí několika sekund – takže teplota neklesá, když se otevřou dvířka. Moduly pracují v čistých prostorách třídy 1–100, a jejich kvartzo/keramické konstrukce zajišťují absenci částic – žádné uvolňování plynů, žádné odlupování, žádné kontaminace.
Proč to funguje při zpracování fotorezistu: Měkké a tvrdé zahřívání ovlivňují odstraňování rozpouštědel a proces křížové vazby polymerů. Náš infračervený systém zkracuje dobu zahřívání, přitom zachovává kontrolu nad kritickými rozměry, snižuje tepelné zatížení a zlepšuje hladkost okrajů linий. Rychlá reakce znamená méně zbytečného tepla, takže spotřeba energie klesá, aniž by to ovlivnilo rychlost práce.
Spolehlivost se projevuje v dlouhodobé provozuschopnosti: moduly fungují již více než 5 000 hodin s odchylkou výstupu menší než 5 %. Nahrazení modulů je možné pomocí standardních nástrojů, takže proces může pokračovat bez přerušení.
Na co je potřeba dbát: Maximální výkon závisí na přizpůsobení spektra emitora absorpci vašeho fotorezistu a na správném spojení modulu s mechanickými a chladicími prvky nástroje. Plánujte krátkou sérii testů na ladění PID a ověření rovnoměrnosti teploty na vašem konkrétním substrátu. Jakmile budou parametry nastaveny správně, teplotní podmínky zůstanou v požadovaném rozsahu – nejen podle grafů.