Das Ende des Albtraums durch defekte Lampen bei der Waferverarbeitung
Falls Sie schon einmal erlebt haben, dass eine IR-Lampe während eines Hochlastbetriebs kaputtgegangen ist, wissen Sie, dass es nicht nur um den Stillstand geht. Es entsteht ein echtes Chaos: Glasstücke und Tungstfilamente fallen auf die Wafer – das ist im Grunde eine Katastrophe bezüglich der Kontamination der Wafer.
Wir haben viel Zeit investiert, um herauszufinden, wie man verhindern kann, dass so etwas passiert.
Warum der Aluminiumreflektor wichtig ist
Wir verwenden Aluminiumreflektoren von hoher Reinheit – sie dienen nicht nur dazu, die Wärme zu lenken. Man kann sie auch als „Sicherheitsnetz“ betrachten. Durch das Einsetzen der Lampe in eine präzise gefertigte Aluminiumschale entsteht eine physische Barriere. Wenn eine Lampe kaputtgeht, fängt die Schale den größten Teil der Trümmer auf, bevor diese weiterfliegen können.
Außerdem hilft die Form dieser Reflektoren dabei, mehr Energieeffizienz zu erreichen. So können Sie die gewünschten Temperaturen bei niedrigerer Leistung erzielen. Das ist ein großer Vorteil – weniger Wärmestress auf dem Quarz bedeutet, dass die Lampen länger halten.
Sauberkeit gewährleisten
Wir setzen außerdem Schutzvorrichtungen zwischen der Lampe und den Wafern ein. Das ist eine einfache Lösung, die viel Ärger vermeidet. Wenn eine Lampe kaputtgeht, fangen die Schutzvorrichtungen die Bruchstücke auf. So können Sie einfach die Lampe austauschen und weiterarbeiten – anstatt Stunden damit zu verbringen, die gesamte Kammer zu reinigen.
Wir legen außerdem großen Wert auf die Verbindungsstellen. Wir haben schon zu viele Fälle gesehen, in denen Lampen frühzeitig kaputtgingen, weil die Verbindungen locker waren. Um das zu vermeiden, nutzen wir solide Befestigungen, die Vibrationen aushalten können.
Der Kompromiss
Es gibt jedoch einen Nachteil: Die Verwendung von Reflektoren und Schutzvorrichtungen erhöht das Gewicht des Systems. Sie werden wahrscheinlich einen leichten Verzögerungseffekt beim Erreichen der gewünschten Temperatur feststellen – im Vergleich zur Verwendung von normalen Lampen. Sie müssen die Einstellungen des PID-Reglers anpassen, um mit diesem zusätzlichen Gewicht umzugehen und die Temperatur nicht zu überschreiten.
Es ist jedoch ein kleiner Preis für die Gewissheit, dass Ihre Wafer sicher sind.