مقدمه
حقیقت این است که ما قطعات گرمکن مورد استفاده در دستگاههای لیتوگرافی EUV را به یک دلیل ساده تولید میکنیم؛ تا دستگاههای شما بتوانند به طور مداوم کار کنند. بدون توقف، بدون مشکل.
ستونهای مربوط به مشخصات فنی این قطعات بسیار دقیق هستند؛ همچنین محیط کار نیز بسیار سختگیرانه است. بنابراین، ما با گارانتی ۲۴ ماههای، از کیفیت قطعات خود حمایت میکنیم. و اگر مشکلی پیش بیاید، ما در عرض ۲۴ ساعت برای رفع مشکل کمک خواهیم کرد. چون وقتی که دستگاه شما از کار میایستد، هر دقیقه برای شما هزینهزاست.
بررسی فنی
در فرآیند گرم کردن مواد مورد استفاده در لیتوگرافی EUV، کنترل دقیق دما بسیار مهم است؛ بنابراین گرمکنهای ما بر اساس ولتاژ ۴۰۰ ولت و توان ۲۵۰۰ وات طراحی شدهاند. این ترکیب از ولتاژ بالا و توان زیاد، باعث میشود دمای دستگاه به سرعت افزایش یابد؛ درست همان چیزی که برای عملکرد بهتر دستگاه لازم است.
ما طول لولههای مورد استفاده را ۳۰۰ میلیمتر انتخاب کردیم؛ زیرا این طول مناسب برای نصب در دستگاههای مربوطه است. این امر باعث میشود که نیازی به تغییراتی در ساختار دستگاه نباشد؛ بنابراین میتوانید آن را به راحتی جایگزین کنید و دوباره شروع به کار کنید.
مواد و طراحی
در داخل این گرمکن، یک عنصر هالوژنی با طول موج کوتاه وجود دارد که درون یک پوشش کوارتزی قرار گرفته است. کوارتز، گرمایش و سرمایش سریع را به خوبی مدیریت میکند؛ همچنین حتی در محیط خلأ نیز تمیز باقی میماند. طیف موج کوتاه، انرژی را دقیقاً در جایی که لازم است، تخصیص میدهد؛ بنابراین تابش اضافی کمتری وجود دارد.
آن پوشش بازتابنده ویژه نیز، انرژی مادون قرمز را مستقیماً به هدف مورد نظر هدایت میکند؛ بنابراین اتصال حرارتی بهتری حاصل میشود و گرمای اضافی کمتری تولید میشود.
کانکتور R7s نیز، از ثابت ماندن تمام اجزا حتی در شرایط لرزش، جلوگیری میکند. اتصال این کانکتور نیز آسان است؛ بنابراین نصب آن راحتتر میشود و خطر ایجاد نقاط گرم در محل اتصال نیز کاهش مییابد.
کاربردها و مزایا
در فرآیند گرم کردن مواد مورد استفاده در لیتوگرافی EUV، این سیستم باعث ایجاد تراکم حرارتی بالا در جایی که لازم است، میشود؛ بنابراین میتوانید دما را به سرعت و به طور یکنواخت کنترل کنید.
گارانتی ۲۴ ماهه، صرفاً یک وعده نیست؛ بلکه نتیجه فرآیندهای تولید کنترلشده و آزمایشهای واقعی است؛ بنابراین میتوانید با اطمینان، برنامههای نگهداری دستگاه خود را تنظیم کنید.
و وقتی که مشکلی در دستگاه پیش میآید، پشتیبانی فنی ۲۴ ساعته ما، به شما کمک میکند تا به سرعت مشکل را برطرف کنید.
نکته مهمی که باید در نظر داشته باشید این است که استفاده از ولتاژ ۴۰۰ ولت و توان ۲۵۰۰ وات، نیاز به سیستم خنککننگ قوی را ایجاد میکند؛ بنابراین سیستم مدیریت حرارتی دستگاه باید قوی باشد. ما هم گرمکن و هم پشتیبانی لازم را فراهم میکنیم تا فرآیند کار شما پایدار بماند.