چگونه از سپرهای شیشهای کوارتز برای لامپهای مادون قرمز در فرآیندهای تولید استفاده کنیم؟
اگر قصد استفاده از روش خشککردن با استفاده از نیمههادیها را دارید، استفاده از لامپهای مادون قرمز بهترین روش موجود است. چرا؟ زیرا این روش اجازه میدهد که از استفاده از مواد شیمیایی مضر خودداری شود و همچنین از مصرف بیش از حد انرژی جلوگیری میشود.
اما مشکل اینجاست که نمیتوان لامپهای مادون قرمز را بدون سپر قرار داد. در اینجاست که سپرهای شیشهای کوارتز به کار میآیند؛ آنها لامپها را تمیز نگه میدارند و اطمینان حاصل میکنند که گرمای وارد شده به ویفر در میزان مناسبی باشد.
مواد مورد استفاده
ما از کوارتز با خلوص بالا برای ساخت این سپرها استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده اجازه میدهد که تابش مادون قرمز از بین سپر عبور کند، بدون اینکه گرما را جذب کند. اگر از شیشه معمولی استفاده کنید، یا اینکه شیشه در اثر گرما خرد میشود، یا اینکه امواج مورد نیاز برای خشک کردن ویفر مسدود میشود.
میتوانید این سپرها را مانند محافظهایی برای لامپها در نظر بگیرید؛ آنها از ورود ذرات و گازهای شیمیایی به داخل لامپ جلوگیری میکنند. بدون این سپرها، لامپها خیلی سریع از کار میافتند.
عدم استفاده از سرب (و دلیل موفقیت آن)
فرهای خشککن قدیمی، در واقع صندوقهای بزرگی برای انتقال گرما هستند؛ این فرها کند عمل میکنند، پیچیده هستند و مصرف انرژی زیادی دارند.
اما لامپهای مادون قرمز متفاوت هستند؛ آنها تابش مستقیمی دارند و بلافاصله به هدف میرسند. به دلیل کارایی بالای آنها، نیازی به استفاده از مواد استابیلکننده سمی مبتنی بر سرب نیست؛ این روش، روشی تمیزتر برای کار است.
مشکل نصب
هنگام نصب این سیستمها، فاصله بین لامپ و سپر کوارتز بسیار مهم است.
اگر فاصله خیلی کم باشد، لامپ دچار شوک حرارتی میشود و کوارتز پاره میشود؛ اگر فاصله خیلی زیاد باشد، چگالی گرما کم میشود و فرآیند کندتر میشود. این یک تعادل دشوار است.
یک نکته دیگر: کوارتز در برابر گرما مقاوم است، اما شکننده نیز هست؛ اگر در هنگام نصب کمی اشتباه کنید، کوارتز پاره خواهد شد.
من همیشه توصیه میکنم که قطعات مربوط به نصب را با دقت بررسی کنید؛ اگر کف کارخانه کمی لرزش داشته باشد، از پایههای مقاوم برای نصب لامپ استفاده کنید. این کار از جایگزینی سپرهای پاره شده جلوگیری میکند و مصرف انرژی را کاهش میدهد؛ این امر باعث رضایت بازرسان محیط زیست میشود.